16-7.什么是影响电磁透镜分辨本领的主要因素？ ◆电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定(d=0.61 VNsina+Csa3), 照明电子束处于真空介质，所以n=1 电磁透镜成像的孔径半角很小，所以sina=a d=C.ax2+0.61A 14 0.61A1 对aα求导并求极值 := 3C, dn=A(C,A3)'4(A=1.2) 其中球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素。 ◆小孔成像：a,由球差带来的误差Csα3↓，但是孔径半角也不能无限制减小，因为池 孔径半角缩小到一定的程度时，由电子波动性所引起的衍射误差对成像质量的影响也不 可忽略，因此透镜的分辨本领应综合考虑孔径半角对球差和衍射误差的影响16-7. 什么是影响电磁透镜分辨本领的主要因素?  电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定 (d=0.61λ/Nsinα+Cs α 3 )， 其中球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素。  小孔成像： α↓，由球差带来的误差Cs α 3 ↓，但是孔径半角也不能无限制减小，因为池 孔径半角缩小到一定的程度时，由电子波动性所引起的衍射误差对成像质量的影响也不 可忽略，因此透镜的分辨本领应综合考虑孔径半角对球差和衍射误差的影响