2、综合实贱项目一“粉体材料制备及性能检测”的安排 ①选用材料 高纯碳酸锶、高纯氧化铝 、高纯氧化铕等 ②工艺路线 备料 配料05天)一高温灼烧及还原2为一后处理05天)一各种性能测 试(4天·讨论(1天) 3、综合实贱项目二“薄膜材料制备及性能检测”的安排 ①选用材料单晶硅片，高纯Ti、A1靶，高纯氨气，高纯氩气等 ②工艺路线备料一直流磁控溅射法(1天)一射频磁控溅射法(1天)一薄膜性能测试1~2 胶 薄膜材科1天) 1天) 4、综合实践项目 半导体工艺实验”的安排 ①选用材料单晶硅片（锗片），高纯氮气，氧气等 ②工艺路线备料→半导体衬底清洗工艺(0.5天)→半导体性能测试1~2天)→S02薄 膜制备及性能测试1一2天)→光刻技术与工艺(12天)，讨论1天) 三、敕学管理模式与注意事项 1、电子信息材料专业方向学生需完成全部“必做实验”。根据综合实践项目的内容和难易 程度，学生自由组合分组，每组人数1一3人，并由指导教师认可。根据自已能力强弱 和兴趣爱好，自主选择完成“选做实验”，选做实验在课余时间或双休日进行，需事先 与指导教师预约。 2、学生在实验前必须认真预习，明确实验原理和目的，熟悉实验步骤及工艺参数 3、实验室在 实 检学生 点支持，实行开放的管理模式， 双休日也可安排进行试 验。高温炉、大型设备、高精设备由专人负贵操作，并填写使用记录。 4、学生须严格遵守实验室管理条例和安全规范，开始实验前进行一次集中安全教育。 四、设备与器材配置 1、可可供洗超的仪设名 ①各类小型制样设备 各类化学药品等耗材（高纯原料，单品硅片，光刻胶等 ②大型制样设备（磁控溅射仪，高温烧结炉，光刻机等） ③各类检测分析仪器（粒度仪，比表面仪，电泳仪，亮度仪，原子力显微镜，微磨损 仪，薄膜结合力分析仪，椭偏仪，四探针仪，霍尔效应仪，体视显微镜等) 2、实验耗材 ①常规化学药品（酒精，硝酸，盐酸，氨水等 ②高纯或昂贵原料（荧光级高纯粉体原料，单品硅片及锗片，光刻胶，高纯、A1靶 高纯氮气，高纯氩气，液氮等) 五、考核与成绩评定 按实验考勤、实验预习情况、实验动手能力的强弱、实验报告成绩、综合设计实验多媒 体报告等方面综合考评，本综合实践最终成绩以优、良、中、及格、不及格（对应百分制： 90及以上、80-89、70-79、60-69、小于60)五档评定。选做实验视难度和完成情况由指 导老师综合评定，加分不超过10分。 六、教材与参考资料 1、董岩，邵起越等，电子信息材料专业方向大型实验，东南大学讲义，2007.32 2、综合实践项目一 “粉体材料制备及性能检测”的安排 ① 选用材料 高纯碳酸锶、高纯氧化铝、高纯氧化铕等 ② 工艺路线 备料→配料(0.5 天)→高温灼烧及还原(2 天)→后处理(0.5 天)→各种性能测 试(4 天)→讨论(1 天) 3、综合实践项目二 “薄膜材料制备及性能检测”的安排 ① 选用材料 单晶硅片，高纯 Ti、Al 靶，高纯氮气，高纯氩气等 ② 工艺路线 备料→直流磁控溅射法(1 天)→射频磁控溅射法(1 天)→薄膜性能测试(1～2 天)→溶胶凝胶法制备薄膜材料(1 天) →讨论(1 天) 4、综合实践项目三 “半导体工艺实验”的安排 ① 选用材料 单晶硅片（锗片），高纯氮气，氧气等 ② 工艺路线 备料→半导体衬底清洗工艺 (0.5 天)→半导体性能测试(1～2 天)→SiO2 薄 膜制备及性能测试 (1～2 天)→光刻技术与工艺（1～2 天）→讨论(1 天) 三、教学管理模式与注意事项 1、电子信息材料专业方向学生需完成全部“必做实验”。根据综合实践项目的内容和难易 程度，学生自由组合分组，每组人数 1－3 人，并由指导教师认可。根据自己能力强弱 和兴趣爱好，自主选择完成“选做实验”，选做实验在课余时间或双休日进行，需事先 与指导教师预约。 2、学生在实验前必须认真预习，明确实验原理和目的，熟悉实验步骤及工艺参数。 3、实验室在三周中对实验学生重点支持，实行开放的管理模式，双休日也可安排进行试 验。高温炉、大型设备、高精设备由专人负责操作，并填写使用记录。 4、学生须严格遵守实验室管理条例和安全规范，开始实验前进行一次集中安全教育。 四、设备与器材配置 1、可供选择的仪器设备 ① 各类小型制样设备，各类化学药品等耗材（高纯原料，单晶硅片，光刻胶等） ② 大型制样设备（磁控溅射仪，高温烧结炉，光刻机等） ③ 各类检测分析仪器（粒度仪，比表面仪，电泳仪，亮度仪，原子力显微镜，微磨损 仪，薄膜结合力分析仪，椭偏仪，四探针仪，霍尔效应仪，体视显微镜等） 2、实验耗材 ①常规化学药品（酒精，硝酸，盐酸，氨水等） ②高纯或昂贵原料（荧光级高纯粉体原料，单晶硅片及锗片，光刻胶，高纯 Ti、Al 靶 高纯氮气，高纯氩气，液氮等） 五、考核与成绩评定 按实验考勤、实验预习情况、实验动手能力的强弱、实验报告成绩、综合设计实验多媒 体报告等方面综合考评，本综合实践最终成绩以优、良、中、及格、不及格（对应百分制： 90 及以上、80~89、70~79、60~69、小于 60）五档评定。选做实验视难度和完成情况由指 导老师综合评定，加分不超过 10 分。 六、教材与参考资料 1、董岩，邵起越等，电子信息材料专业方向大型实验，东南大学讲义，2007.3