等离子体的一般性质 典型的辉光放电等离子体中: 等离子体密度~1010cm3 ■等离子体中电子的温度Te~2eV=23000K 离子及中性原子处于低能态,如300~500K ■但,等离子体中存在着大量的活性基团 离子、激发态的分子和原子、自由基◼ 等离子体密度  1010/cm3 ◼ 等离子体中电子的温度Te  2 eV = 23000K ◼ 离子及中性原子处于低能态，如 300500K ◼ 但，等离子体中存在着大量的活性基团： 离子、激发态的分子和原子、自由基 等离子体的一般性质 典型的辉光放电等离子体中：