等离子体的特性 等离子体类型 辉光放电 弧光放电 (非平衡等离子体) (局域平衡等离子体) 频率 DC DC 13.56 MHZ(RF 3.56 MHZ(RF) 245GHz(微波) 功率 0~100kW 1~ 20 MW 等离子体密度 109~1012/cm3 1014/cm3 压力 I Pa0.15 atm 2 kPa l atm 电子温度 ~104K ~104K 原子温度 500K 104K等离子体的特性 等离子体类型 辉光放电 弧光放电 （非平衡等离子体） （局域平衡等离子体） 频率 DC 13.56 MHz (RF) 2.45GHz （微波） DC 13.56 MHz (RF) 功率 0 ～100 kW 1～20 MW 等离子体密度 109～1012 /cm3 ～1014 /cm3 压力 1Pa～0.15 atm 2 kPa～ 1 atm 电子温度 ～104K ～104K 原子温度 ～500K ～104K