薄膜分类/工艺与材料的对照表 热氧化化学气相 层别 工艺 淀积工艺 蒸发工艺 溅射工艺 绝缘层 二氧化硅 二氧化硅 氧化硅 氮化硅 氧化硅 半导体层 外延单晶硅 多晶硅 导体层 铝/硅合金钛 铝铜合金 钼 镍铬铁合金铝/硅合金 黄金 铝铜合金薄膜分类/工艺与材料的对照表 层别 热氧化 工艺 化学气相 淀积工艺 蒸发工艺 溅射工艺 绝缘层 二氧化硅 二氧化硅 氮化硅 二氧化硅 一氧化硅 半导体层 外延单晶硅 多晶硅 导体层 铝 铝 硅合金 / 铝铜合金 镍铬铁合金 黄金 钨 钛 钼 铝 硅合金 / 铝铜合金