加热器 基片 阴极屏蔽 基片 阴极 高压线 阳极 高压屏蔽、 加热器 蒸发源 高压电源加热电源 图1-13蒸发与溅射设备 a)蒸发设备b)溅射设备 ①一原子或分子束②一渡越过程中受到撞击③一气体分子④—从基片上二次蒸发