测微头改变电容传感器的动极板位置使电压表显示0V,再转动测微头（同一个方向）5 圈，记录此时的测微头读数和电压表显示值为实验起点值。以后，反方向每转动测微头 1圈即△X=0.5mm位移读取电压表读数（这样转10圈读取相应的电压表读数），将 数据填入表1并作出△X-V实验曲线（这样单行程位移方向做实验可以消除测微头的 回差) 4、根据表1数据计算电容传感器的系统灵敏度S和非线性误差δ。实验完毕，关闭 电源。 表1电容传感器位移实验数据 X (mm) V(mV)测微头改变电容传感器的动极板位置使电压表显示 0V ，再转动测微头(同一个方向)5 圈，记录此时的测微头读数和电压表显示值为实验起点值。以后，反方向每转动测微头 1 圈即△Ｘ=０.５ｍｍ位移读取电压表读数(这样转 10 圈读取相应的电压表读数)，将 数据填入表 1 并作出△Ｘ-Ｖ实验曲线(这样单行程位移方向做实验可以消除测微头的 回差)。 4、根据表 1 数据计算电容传感器的系统灵敏度 S 和非线性误差δ。实验完毕，关闭 电源。 表 1 电容传感器位移实验数据 X（mm） V(mV)