传感器与检测实验指导书 2018.09
传感器与检测实验指导书 2018.09
目录 CSY一2000型传感器与检测技术实验台说明书 CSY一3000型传感器与检测技术实验台说明书 实验一电容式传感器测位移特性实验 实验二 直流激励时线性霍尔传感器测位移特性实验 实验三电涡流传感器测量位移特性实验
目 录 CSY－2000型传感器与检测技术实验台说明书 CSY－3000型传感器与检测技术实验台说明书 实验一 电容式传感器测位移特性实验 实验二 直流激励时线性霍尔传感器测位移特性实验 实验三 电涡流传感器测量位移特性实验
CSY一2000型传感器与检测技术实验台 说 明 书 一、实验台的组成 CSY一2000型传感器与检测技术实验台由主机箱、传感器、实验电路（实验模板）、转动 源、振动源、温度源、数据采集卡及处理软件、实验桌等组成。 1、主机箱：提供高稳定的±15V、±5V、+5V、±2V~±10V(步进可调)、十2V~+ 24V(连续可调)直流稳压电源：音频信号源（音频振荡器）1Kz~10Kz(连续可调)： 低频信号源（低频振荡器）1Hz~30Hz(连续可调)：传感器信号调理电路：智能调节仪： 计算机通信口；主机箱上装有电压、气压等相关数显表。其中，直流稳压电源、音频振荡 器、低频振荡器都具有过载保护功能，在排除接线错误后重新开机恢复正常工作。主机箱 右侧面装有供电电源插板及漏电保护开关。 2、振动源（动态应变振动梁与振动台）：振动频率3Hz~30Hz可调（谐振频率9Hz~12Hz 左右)： 3、转动源：手动控制0转/分~2400转/分、自动控制300~2200转/分。 4、温度源：常温~200℃。 5、气压源：0~20Kpa(连续可调)。 6、传感器：基本型有箔式应变片(3502)传感器（秤重200g)、扩散硅压力传感器(20Kpa)、 差动变压器（士4mm)、电容式位移传感器（士2.5mm)、霍尔式位移传感器（±1mm)、霍尔式转 速传感器(2400转/分)、磁电转速传感器(250转/分~2400转/分)、压电式传感器电涡流 传感器(1mm)、光纤位移传感器(1mm)、光电转速传感器(2400转/分)、集成温度(AD590)传 感器（室温~150℃）、K热电偶（室温~180℃）、E热电偶（室温~180℃）、Pt100铂电阻（室 温~180℃)、Cu50铜电阻（室温~100℃）、湿敏传感器(10~95%D、气敏传感器(50~ 2000ppm)等。 增强型：基本型基础上可选配扭矩传感器(25N·m)、超声位移传感器(200~1500mm)、PSD位 置传感器（士2mm)、CCD电荷耦合器件、光栅位移传感器(25mm)、红外热释电传感器、指纹 传感器（演示）等。 7、调理电路（实验模板）：基本型有电桥及调平衡网络、差动放大器、电压放大器、电 荷放大器、电容变换器、电涡流变换器、光电变换器、温度变换器、移相器、相敏检波器
CSY－2000 型传感器与检测技术实验台 说 明 书 一、实验台的组成 CSY－2000 型传感器与检测技术实验台由主机箱、传感器、实验电路(实验模板)、转动 源、振动源、温度源、数据采集卡及处理软件、实验桌等组成。 1、主机箱：提供高稳定的±15V、±5V、＋5V、±2V～±10V（步进可调）、＋2V～＋ 24V（连续可调）直流稳压电源；音频信号源（音频振荡器）1KHz～10KHz（连续可调）； 低频信号源（低频振荡器）1Hz～30Hz（连续可调）；传感器信号调理电路；智能调节仪； 计算机通信口；主机箱上装有电压、气压等相关数显表。其中，直流稳压电源、音频振荡 器、低频振荡器都具有过载保护功能，在排除接线错误后重新开机恢复正常工作。主机箱 右侧面装有供电电源插板及漏电保护开关。 2、振动源（动态应变振动梁与振动台）：振动频率 3Hz～30Hz 可调（谐振频率 9Hz～12Hz 左右）； 3、转动源：手动控制 0 转/分～2400 转／分、自动控制 300～2200 转／分。 4、温度源：常温～200℃。 5、气压源：0～20Kpa（连续可调）。 6、传感器：基本型有箔式应变片(350Ω)传感器(秤重 200g)、扩散硅压力传感器(20Kpa)、 差动变压器(±4mm)、电容式位移传感器(±2.5mm)、霍尔式位移传感器(±1mm)、霍尔式转 速传感器(2400 转/分)、磁电转速传感器(250 转/分～2400 转/分)、压电式传感器电涡流 传感器(1mm)、光纤位移传感器(1mm)、光电转速传感器(2400 转/分)、集成温度(AD590)传 感器(室温～150℃)、K 热电偶(室温～180℃)、E 热电偶(室温～180℃)、Pt100 铂电阻(室 温～180℃)、Cu50 铜电阻(室温～100℃)、湿敏传感器(10～95％RH)、气敏传感器(50～ 2000ppm)等。 增强型：基本型基础上可选配扭矩传感器(25N·m)、超声位移传感器(200～1500mm)、PSD 位 置传感器(±2mm)、CCD 电荷耦合器件、光栅位移传感器(25mm)、红外热释电传感器、指纹 传感器(演示)等。 7、调理电路(实验模板)：基本型有电桥及调平衡网络、差动放大器、电压放大器、电 荷放大器、电容变换器、电涡流变换器、光电变换器、温度变换器、移相器、相敏检波器
低通滤波器。增强型增加与选配传感器配套的实验模板。 8、数据采集处理软件，另附。 9、实验台：尺寸为1600×800×750mm,实验台桌上预留了计算机及示波器安放位置。 二、电路原理 实验电路原理已印刷在面板上（实验模板上），实验接线图参见文中的具体实验内容。 三、使用方法 1、开机前将电压表显示选择旋钮打到2V档：电流表显示选择旋钮打到200mA档：步进 可调直流稳压电源旋钮打到±2V档：其余旋钮都打到中间位置。 2、将AC220V电源线插头插入市电插座中，合上电源开关，数显表显示0000，表示 实验台已接通电源。 3、做每个实验前应先阅读实验指南，每个实验均应在断开电源的状态下按实验线路接 好连接线（实验中用到可调直流电源时，应在该电源调到实验值后再接到实验线路中），检 查无误后方可接通电源。 4、合上调节仪（器）电源开关，设置调节仪（器）参数：调节仪（器）的PV窗显示测量值：SV窗 显示设定值（具体内容参见实验）。 5、数据采集卡及处理软件使用方法另附说明。 四、仪器维护及故障排除 1、维护 ()防止硬物撞击、划伤实验台面：防止传感器跌落地面。 (②)实验完毕要将传感器、配件及连线全部整理放置好。 2、故障排除 (1)开机后数显表都无显示，应查AC220N电源有否接通：主机箱侧面AC220V插 座中的保险丝是否烧断。如都正常，则更换主机箱中主机电源。 (2)转动源不工作，则手动输入十12V电压，如不工作，更换转动源：如工作正常，应 查调节仪设置是否准确：控制输出V0有无电压，如无电压，更换主机箱中的转速控制板。 (3)振动源不工作，检查主机箱面板上的低频振荡器有无输出，如无输出，更换信号板： 如有输出，更换振动源的振荡线圈。 (4)温度源不工作，检查温度源电源开关有否打开：温度源的保险丝是否烧断：调节仪 设置是否准确。如都正常，则更换温度源
低通滤波器。增强型增加与选配传感器配套的实验模板。 8、数据采集处理软件，另附。 9、实验台：尺寸为 1600×800×750mm，实验台桌上预留了计算机及示波器安放位置。 二、电路原理 实验电路原理已印刷在面板上(实验模板上) ，实验接线图参见文中的具体实验内容。 三、使用方法 1、开机前将电压表显示选择旋钮打到 2V 档；电流表显示选择旋钮打到 200mA 档；步进 可调直流稳压电源旋钮打到±2V 档；其余旋钮都打到中间位置。 2、将 AC 220V 电源线插头插入市电插座中，合上电源开关，数显表显示 0000，表示 实验台已接通电源。 3、做每个实验前应先阅读实验指南，每个实验均应在断开电源的状态下按实验线路接 好连接线（实验中用到可调直流电源时，应在该电源调到实验值后再接到实验线路中），检 查无误后方可接通电源。 4、合上调节仪(器)电源开关，设置调节仪(器)参数；调节仪(器)的 PV 窗显示测量值；SV 窗 显示设定值(具体内容参见实验)。 5、数据采集卡及处理软件使用方法另附说明。 四、仪器维护及故障排除 1、维护 ⑴ 防止硬物撞击、划伤实验台面；防止传感器跌落地面。 ⑵ 实验完毕要将传感器、配件及连线全部整理放置好。 2、故障排除 ⑴ 开机后数显表都无显示，应查 AC 220V 电源有否接通；主机箱侧面 AC 220V 插 座中的保险丝是否烧断。如都正常，则更换主机箱中主机电源。 ⑵ 转动源不工作，则手动输入＋12V 电压，如不工作，更换转动源；如工作正常，应 查调节仪设置是否准确；控制输出 Vo 有无电压，如无电压，更换主机箱中的转速控制板。 ⑶ 振动源不工作，检查主机箱面板上的低频振荡器有无输出，如无输出，更换信号板； 如有输出，更换振动源的振荡线圈。 ⑷ 温度源不工作，检查温度源电源开关有否打开；温度源的保险丝是否烧断；调节仪 设置是否准确。如都正常，则更换温度源
五、注意事项 1、在实验前务必详细阅读实验指南。 2、严禁用酒精、有机溶剂或其它具有腐蚀性溶液擦洗主机箱及面板。 3、请勿将主机箱的电源、信号源输出端与地（⊥）短接，因短接时间长易造成电路故障。 4、请勿将主机箱的±130005X源引入实验电路时接错。 5、在更换接线时，应断开电源，只有在确保接线无误后方可接通电源。 6、实验完毕后，请将传感器及附件放回原处。 7、如果实验台长期未通电使用，在实验前先通电十分钟预热，再检查按一次漏电保护 按钮是否有效。 8、实验接线时，要握住手柄插拔实验线，不能拉扯实验线
五、注意事项 1、在实验前务必详细阅读实验指南。 2、严禁用酒精、有机溶剂或其它具有腐蚀性溶液擦洗主机箱及面板。 3、请勿将主机箱的电源、信号源输出端与地（⊥）短接，因短接时间长易造成电路故障。 4、请勿将主机箱的±\u30005X源引入实验电路时接错。 5、在更换接线时，应断开电源，只有在确保接线无误后方可接通电源。 6、实验完毕后，请将传感器及附件放回原处。 7、如果实验台长期未通电使用，在实验前先通电十分钟预热，再检查按一次漏电保护 按钮是否有效。 8、实验接线时，要握住手柄插拔实验线，不能拉扯实验线
CSY一3000型传感器与检测技术实验台 说 明 书 CSY3000型传感器与检测技术实验台是本公司为适应不同类别、不同层次的专业需要， 在2000系列传感器与检测技术实验台的基础上，增加了一些光电传感器而最新推出的 模块化的新产品。 CSY一3000型传感器与检测技术实验台，主要用于各大专院校、中专及职业技术院校 开设的“自动检测技术”“传感器原理与技术”。“工业自动化控制”“非电量电测技 术”等课程 的教学实验。它是采用最新推出的模块化结构的产品。实验台上采用的大部分传感器虽 然是教学传感器（透明结构便于教学），但其结构与线路是工业应用的基础。希望通过 实验帮助广大学生加强对书本知识的理解，并在实验的进行过程中通过信号的拾取、转 换、分析、掌握作为一个科技工作者应具有的基本的操作技能与动手能力。 一、实验台的组成 CSY一3000型传感器与检测技术实验台由主机箱、温度源、转动源、振动源、传感器、 相应的实验模板、数据采集卡及处理软件、实验桌等组成。 1、主机箱：提供高稳定的±15V、±5V、+5V、±2V~±10V(步进可调)、+2V~+24V (连续可调)直流稳压电源：直流恒流源0.6A~20mA可调：音频信号源（音频振荡器） 1Kz~10KHz(连续可调)：低频信号源（低频振荡器）1Hz~30Hz(连续可调)：气压源0~ 20KPa(可调)：智能调节仪（器）：计算机通信口：主控箱面板上装有电压、电流、频率转 速、气压、光照度数显表：漏电保护开关等。其中，直流稳压电源、音频振荡器、低频振荡 器都具有过载切断保护功能，在排除接线错误后重新开机一下才能恢复正常工作。 2、振动源：振动台振动频率1Hz~30Hz可调（谐振频率9Hz左右）。 3、转动源：手动控制0~2400转/分：自动控制300~2200转/分。 4、温度源：常温一200℃。 5、气压源0~20KPa(可调)： 6、传感器：基本型有电阻应变式传感器、扩散硅压力传感器、差动变压器、电容式位 移传感器、霍尔式位移传感器、霍尔式转速传感器、磁电转速传感器、压电式传感器、 电涡流传感器、光纤传感器、光电转速传感器（光电断续器）、集成温度传感器、K型
CSY－3000 型传感器与检测技术实验台 说 明 书 CSY3000 型传感器与检测技术实验台是本公司为适应不同类别、不同层次的专业需要， 在 2000 系列传感器与检测技术实验台的基础上，增加了一些光电传感器而最新推出的 模块化的新产品。 CSY－3000 型传感器与检测技术实验台，主要用于各大专院校、中专及职业技术院校 开设的“自动检测技术” “传感器原理与技术” “工业自动化控制” “非电量电测技 术”等课程 的教学实验。它是采用最新推出的模块化结构的产品。实验台上采用的大部分传感器虽 然是教学传感器（透明结构便于教学），但其结构与线路是工业应用的基础。希望通过 实验帮助广大学生加强对书本知识的理解，并在实验的进行过程中通过信号的拾取、转 换、分析、掌握作为一个科技工作者应具有的基本的操作技能与动手能力。 一、 实验台的组成 CSY－3000 型传感器与检测技术实验台由主机箱、温度源、转动源、振动源、传感器、 相应的实验模板、数据采集卡及处理软件、实验桌等组成。 1、主机箱：提供高稳定的±15V、±5V、＋5V、±2V～±10V（步进可调）、＋2V～＋24V （连续可调）直流稳压电源；直流恒流源 0．6mA～20mA 可调；音频信号源（音频振荡器） 1KHz～10KHz（连续可调）；低频信号源（低频振荡器）1Hz～30Hz（连续可调）；气压源 0～ 20KPa（可调）；智能调节仪(器)；计算机通信口；主控箱面板上装有电压、电流、频率转 速、气压、光照度数显表；漏电保护开关等。其中，直流稳压电源、音频振荡器、低频振荡 器都具有过载切断保护功能，在排除接线错误后重新开机一下才能恢复正常工作。 2、振动源：振动台振动频率 1Hz～30Hz 可调（谐振频率 9Hz 左右）。 3、转动源：手动控制 0～2400 转／分；自动控制 300～2200 转／分。 4、温度源：常温～200℃。 5、气压源 0～20KPa（可调）； 6、传感器：基本型有电阻应变式传感器、扩散硅压力传感器、差动变压器、电容式位 移传感器、霍尔式位移传感器、霍尔式转速传感器、磁电转速传感器、压电式传感器、 电涡流传感器、光纤传感器、光电转速传感器（光电断续器）、集成温度传感器、K 型
热电偶、E型热电偶、Pt100铂电阻、Cu50铜电阻、湿敏传感器、气敏传感器、光照 度探头、纯白高亮发光二极管、红外发光二极管、光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管、 硅光电池、反射式光电开关共二十六个（其中二个发光源）。 增强型：基本型基础上可选配扭矩传感器、超声位移传感器、PSD位置传感器、CCD电荷耦 合器件、光栅位移传感器、红外热释电传感器、红外夜视传感器、指纹传感器、色敏传感器。 7、调理电路（实验模板）：基本型有应变式、压力、差动变压器、电容式、霍尔式、压 电式、电涡流、光纤位移、温度、移相/相敏检波/低通滤波共十块模板。增强型还增加与 选配传感器配套的实验模板。 8、数据采集卡及处理软件，另附。 9、实验台：尺寸为1600×800×750mm,实验台桌上预留了计算机及示波器安放位置。 二、电路原理 实验模板电路原理已印刷在面板上（实验模板上），实验接线图参见下文中的具体实验 内容。 三、使用方法 1、开机前将电压表显示选择旋钮打到2V档：电流表显示选择旋钮打到200mA档：步进 可调直流稳压电源旋钮打到士2V档：其余旋钮都打到中间位置。 2、将AC220V电源线插头插入市电插座中，合上电源开关，数显表显示0000，表示实验台 已接通电源。 3、做每个实验前应先阅读实验指南，每个实验均应在断开电源的状态下按实验线路接好连 接线（实验中用到可调直流电源时，应在该电源调到实验值后再接到实验线路中），检查无 误后方可接通电源。 4、合上调节仪（器）电源开关，在参数及状态设置好的情况下，调节仪的PV显示测量值： SV显示给定值。 5、合上气源开关，气泵有声响，说明气泵工作正常。 6、数据采集卡及处理软件使用方法另附说明。 四、仪器维护及故障排除 1、维护 (1)防止硬物撞击、划伤实验台面：防止传感器及实验模板跌落地面损坏
热电偶、E型热电偶、Pt100 铂电阻、Cu50 铜电阻、湿敏传感器、气敏传感器、光照 度探头、纯白高亮发光二极管、红外发光二极管、光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管、 硅光电池、反射式光电开关共二十六个（其中二个发光源）。 增强型：基本型基础上可选配扭矩传感器、超声位移传感器、PSD 位置传感器、CCD 电荷耦 合器件、光栅位移传感器、红外热释电传感器、红外夜视传感器、指纹传感器、色敏传感器。 7、调理电路(实验模板)：基本型有应变式、压力、差动变压器、电容式、霍尔式、压 电式、电涡流、光纤位移、温度、移相／相敏检波／低通滤波共十块模板。增强型还增加与 选配传感器配套的实验模板。 8、数据采集卡及处理软件，另附。 9、实验台：尺寸为 1600×800×750mm，实验台桌上预留了计算机及示波器安放位置。 二、 电路原理 实验模板电路原理已印刷在面板上(实验模板上) ，实验接线图参见下文中的具体实验 内容。 三、 使用方法 1、开机前将电压表显示选择旋钮打到 2V 档；电流表显示选择旋钮打到 200mA 档；步进 可调直流稳压电源旋钮打到±2V 档；其余旋钮都打到中间位置。 2、将 AC220V 电源线插头插入市电插座中，合上电源开关，数显表显示 0000，表示实验台 已接通电源。 3、做每个实验前应先阅读实验指南，每个实验均应在断开电源的状态下按实验线路接好连 接线（实验中用到可调直流电源时，应在该电源调到实验值后再接到实验线路中），检查无 误后方可接通电源。 4、合上调节仪(器)电源开关，在参数及状态设置好的情况下，调节仪的 PV 显示测量值； SV 显示给定值。 5、合上气源开关，气泵有声响，说明气泵工作正常。 6、数据采集卡及处理软件使用方法另附说明。 四、仪器维护及故障排除 1、维护 ⑴ 防止硬物撞击、划伤实验台面；防止传感器及实验模板跌落地面损坏
(2)实验完毕要将传感器、配件、实验模板及连线全部整理好。 2、故障排除 (1)开机后数显表都无显示，应查AC220V电源有否接通：主控箱侧面AC220V插座中 的保险丝是否烧断。如都正常，则更换主控箱中主机电源。 (2)转动源不工作，则手动输入十12V(0一24V可调)电压，如不工作，更换转动源：如 工作正常，应查调节仪设置是否准确：控制输出Vo有无电压（将可调24V电源调节到电机 相应的工作电压情况下)，如无电压，更换主控箱中的转速控制板。否则更换智能调节仪。 (3)振动源不工作，检查主控箱面板上的低频振荡器有无输出（调节较大幅度后调节频 率)，如无输出，更换信号板：如有输出，更换振动源的振荡线圈。 (4)温度源不工作，检查温度源电源开关有否打开：温度源的保险丝是否烧断：调节仪 设置是否准确。如都正常，则更换温度源。 五、注意事项 1、在实验前务必详细阅读实验指南。 2、严禁用酒精、有机溶剂或其它具有腐蚀性溶液擦洗主控箱的面板和实验模板面板。 3、严禁将主控箱的电源、信号源输出端与地（⊥）短接，因短接时间长易造成电路故障。 4、严禁将主控箱的±\u30005X源引入实验模板时接错。 5、在更换接线时，应断开电源，只有在确保接线无误后方可接通电源。 6、实验完毕后，请将传感器及实验模板放回原处。 7、如果实验台长期未通电使用，在实验前先通电十分钟预热，再检查按一次漏电保护按钮 是否有效
⑵ 实验完毕要将传感器、配件、实验模板及连线全部整理好。 2、故障排除 ⑴ 开机后数显表都无显示，应查 AC220V 电源有否接通；主控箱侧面 AC220V 插座中 的保险丝是否烧断。如都正常，则更换主控箱中主机电源。 ⑵ 转动源不工作，则手动输入＋12V(0—24V 可调)电压，如不工作，更换转动源；如 工作正常，应查调节仪设置是否准确；控制输出 Vo 有无电压(将可调 24V 电源调节到电机 相应的工作电压情况下)，如无电压，更换主控箱中的转速控制板。否则更换智能调节仪。 ⑶ 振动源不工作，检查主控箱面板上的低频振荡器有无输出(调节较大幅度后调节频 率)，如无输出，更换信号板；如有输出，更换振动源的振荡线圈。 ⑷ 温度源不工作，检查温度源电源开关有否打开；温度源的保险丝是否烧断；调节仪 设置是否准确。如都正常，则更换温度源。 五、注意事项 1、在实验前务必详细阅读实验指南。 2、严禁用酒精、有机溶剂或其它具有腐蚀性溶液擦洗主控箱的面板和实验模板面板。 3、严禁将主控箱的电源、信号源输出端与地（⊥）短接，因短接时间长易造成电路故障。 4、严禁将主控箱的±\u30005X源引入实验模板时接错。 5、在更换接线时，应断开电源，只有在确保接线无误后方可接通电源。 6、实验完毕后，请将传感器及实验模板放回原处。 7、如果实验台长期未通电使用，在实验前先通电十分钟预热，再检查按一次漏电保护按钮 是否有效
实验一电容式传感器的位移实验 一、实验目的：了解电容式传感器结构及其特点。 二、基本原理：利用电容C=EA/d和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路 可以选择ε、A、d中三个参数中，保持二个参数不变，而只改变其中一个参数，则可以 有测谷物干燥度（ε变）、测位移(d变)和测量液位(A变)等多种电容传感器。本 实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器，如下图所示：它是有 二个圆筒和一个圆柱组成的。设圆筒的半径为R:圆柱的半径为r:圆柱的长为x,则 电容量为C=e2πx/In(R/r)。图中C1、C2是差动连接，当图中的圆柱产生△X位移 时，电容量的变化量为△C=C1-C2=e2π2△X/In(R/r),式中e2π、In(R/r)为常数， 说明△C与△X位移成正比，配上配套测量电路就能测量位移。 三、需用器件与单元：主机箱、电容传感器、电容传感器实验模板、测微头。 四、实验步骤： 1、测微头的使用和安装参阅实验九。按图1将电容传感器装于电容传感器实验模板 上并按图示意接线（实验模板的输出Vo1接主机箱电压表的Vim)。 ☑支架座 夹紧螺母 航空 引线 插头 电容式传感器 测微头 紧固螺钉 接主机箱士15/ +7 6$6 -15 +15y DIS out L2 彩 D1木D2 3机 TH C. al箱 (传感器 RIG 2 o 压 表 航空插座 电容传感器实验模板 图1电容传感器位移实验安装、接线图 2、将实验模板上的RW调节到中间位置（方法：逆时针转到底再顺时传3圈）。 3、将主机箱上的电压表量程（显示选择）开关打到2V档，合上主机箱电源开关，旋转
实验一 电容式传感器的位移实验 一、实验目的：了解电容式传感器结构及其特点。 二、基本原理：利用电容 C＝εA／d 和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路 可以选择ε、A、d 中三个参数中，保持二个参数不变，而只改变其中一个参数，则可以 有测谷物干燥度（ε变）、测位移（d 变）和测量液位（A 变）等多种电容传感器。本 实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器，如下图所示：它是有 二个圆筒和一个圆柱组成的。设圆筒的半径为 R；圆柱的半径为 r；圆柱的长为 x，则 电容量为 C=ε2πｘ／ln(R／r)。图中 C1、C2 是差动连接，当图中的圆柱产生∆X 位移 时，电容量的变化量为∆C =C1－C2=ε2π2∆X／ln(R／r)，式中 ε2π、ln(R／r)为常数， 说明∆C 与∆X 位移成正比，配上配套测量电路就能测量位移。 三、需用器件与单元：主机箱、电容传感器、电容传感器实验模板、测微头。 四、实验步骤： 1、 测微头的使用和安装参阅实验九。按图 1 将电容传感器装于电容传感器实验模板 上并按图示意接线(实验模板的输出 Vo1 接主机箱电压表的 Vin)。 图 1 电容传感器位移实验安装、接线图 2、将实验模板上的 Rw 调节到中间位置(方法：逆时针转到底再顺时传３圈)。 3、将主机箱上的电压表量程(显示选择)开关打到 2V 档，合上主机箱电源开关，旋转
测微头改变电容传感器的动极板位置使电压表显示0V,再转动测微头（同一个方向）5 圈，记录此时的测微头读数和电压表显示值为实验起点值。以后，反方向每转动测微头 1圈即△X=0.5mm位移读取电压表读数（这样转10圈读取相应的电压表读数），将 数据填入表1并作出△X-V实验曲线（这样单行程位移方向做实验可以消除测微头的 回差) 4、根据表1数据计算电容传感器的系统灵敏度S和非线性误差δ。实验完毕，关闭 电源。 表1电容传感器位移实验数据 X (mm) V(mV)
测微头改变电容传感器的动极板位置使电压表显示 0V ，再转动测微头(同一个方向)5 圈，记录此时的测微头读数和电压表显示值为实验起点值。以后，反方向每转动测微头 1 圈即△Ｘ=０.５ｍｍ位移读取电压表读数(这样转 10 圈读取相应的电压表读数)，将 数据填入表 1 并作出△Ｘ-Ｖ实验曲线(这样单行程位移方向做实验可以消除测微头的 回差)。 4、根据表 1 数据计算电容传感器的系统灵敏度 S 和非线性误差δ。实验完毕，关闭 电源。 表 1 电容传感器位移实验数据 X（mm） V(mV)