第宄章基本咒刻工艺--从曝到最终裣验 图99光刻胶在高温下的流动 硬烘焙工艺流程 显影 显影/烘焙 显影/烘焙 检验 检验 检验 硬烘焙 刻蚀 重新烘焙 刻蚀 刻蚀第九章 基本光刻工艺------ 从曝光到最终检验 －11－ 图9.9 光刻胶在高温下的流动 硬烘焙工艺流程 显影 检验 硬烘焙 刻蚀 刻蚀 刻蚀 显影 烘焙 / 显影 烘焙 / 检验 检验 重新烘焙