7.1.4器件绝缘体 从另一个角度讲,感应现象就是MOS技术,在 个M0S三极管中,栅极区会长一层薄的二氧化 硅(见图)。这时的Si0起的是介电质的作用, 不仅厚度而且质量都要求非常严格。 除此之外,SiO也可用来做硅表面和导电表 面之间形成的电容所需的介电质(见图)。 金属层 切氧层→zm MS栅氧化 场氧化 晶片7.1.4 器件绝缘体 从另一个角度讲，感应现象就是MOS技术，在 一个MOS三极管中，栅极区会长一层薄的二氧化 硅（见图）。这时的SiO2起的是介电质的作用， 不仅厚度而且质量都要求非常严格。 除此之外， SiO2也可用来做硅表面和导电表 面之间形成的电容所需的介电质（见图）。 场氧化 MOS 氧化 栅 金属层 氧化层 晶片