和少量的TaC。这在涂层的电子探针分析试验中（图8）得到了证实。电子探针线扫描分 析结果表明，随着涂层厚度的增加，金属粗越来越富集，其含量高达90%以上。同时发 现，铁元素从基体往外扩散，与钽生成了金属间化合物。这和上述x射线衍射结果相符。 图645钢涂钽后的金相组织×500 (沉积条件，1000C,H,C1:=10:1) 衍射线强度 (1.1140)Ta,TaC 8.0 基作一 A. (1.1946)Ta Ta (1.2876)Ta,TaC 75.6 -(1.3015)Ta (i.3451)Ta,Fe;Ta:,TaC .3950)Ta1.37667 (1.5376)T4 -(1.5770)Ta,TaC (1.8065)Ta -(1.9217)Fe.Ta, 24.7 三9Ta,Fe,Ta1 (2.1i65)J (2.4594Ta 径36Ta,PeTa, Ta 036539Ta(2.5758)TaC Fe (2.8847)Fe,Ta, 治距注益米 图？沉积样品表层的X射线衍射图 图8钽涂层中Ta、Fe元素的分布曲线 (沉积条件：1000"C,H::C1:=10:1) (沉积条件：1000℃，H::Cl2=10:1) 2。涂层的耐腐做性能 为了检测涂层的耐腐蚀性能，将沉积样品侵入盐酸、硫酸介质中进行腐蚀试验，其结 果列于表2中。 从表中腐蚀试验数据可以看到，涂钽样品无论是在盐酸中，还是在硫酸中都显示出很 高的化学稳定性。但在盐酸溶液中腐蚀速度稍微大一些，这可能是氯离子穿透力强的关 系。与未涂钽的样品(45钢)相比，涂钽样品的腐蚀速度比未涂但的可降低2~3个数量 级，这和文献[9]的实验很接近。 另外发现，随着温度的升高，涂钽样品的耐蚀性也愈加显著。其中在950~1050°C (1223~1323°K)沉积温度下所获得的涂钽样品，腐蚀速度均小于1毫米/年。因此这 种涂层用于化工某些部门是完全可能的[1]。有关这方面的研究工作尚在深入进行。 122和少量的 。 这在涂层的电子探针分析试验中 图 得到了证 实 。 电子探针线扫描分 析结果表明 ， 随着涂层厚度 的增加 ， 金属担越来越富集 ， 其含量 高达 以 上 。 同 时 发 现 ， 铁元素从基体往外扩散 ， 与担生成 了金属 间化合物 。 这和上述 射线衍射结果相符 。 月 图 钢涂钮后的金相组织 沉 积条件 ‘ ， 衍射线强度 ‘ 一， ‘ 几非共 幼舞书 津 ‘ 和剔嘱 ， ， ‘。 丝车丝品 尸 。 ，， 刃 ’ ， 口，‘月 一 。 卜一 魂 月 ， 一 图 沉积样品表层的 射线衍射图 沉积条件 ， 图 钮涂层 中 、 元素的分布曲线 沉积 条件 ， 涂层的附启蚀性能 为了检测涂层的耐腐蚀性能 ， 将沉积样品侵入盐酸 、 硫酸介质 中进行 腐蚀试 验 ， 其结 果列于表 中 。 从表中腐蚀试 验数据可 以看到 ， 涂担样品无论是在盐酸中 ， 还是 在硫酸 中都显 示 出很 高的化学稳定性 。 但在盐酸溶液中腐蚀速度稍微大一 些 ， 这可 能是氯离子穿透 力 强 的 关 系 。 与未涂钮的样品 钢 相 比 ， 涂担样品的腐蚀速度 比未涂担的可 降低 个 数 量 级 ， 这和文献 幻 的实验很接近 。 另外发现 ， 随着温度 的升高 ， 涂担样品的耐蚀性也愈 加显 著 。 其 中 在 沉积温度下所获 得的涂担样品 ， 腐蚀速度 均小于 毫米 年 。 因 此 这 种涂层用于化工某些部门是完全可能的〔 ‘ “ 〕 。 有关这方面 的研究工作 尚在深 入进行 。 才