(c)微波放电 Microwave 2.45 GHz 波导 入0=12c 槽缝天线 表面波 等离子体 石英平板 25 cm 0.3m 表面波等离子体 1 m(c) 微波放电 0.3 m 1 m 波导 Microwave 槽缝天线 石英平板 2.45 GHz l0=12 cm 25 cm 表面波 等离子体 表面波等离子体