(3)按原子的扩散方向分： ●体扩散：在晶粒内部进行的扩散； ·表面扩散：在表面进行的扩散称为； ·晶界扩散：沿晶界进行的扩散称为。 表面扩散和晶界扩散的扩散速度比体扩散要快得多， 一般称前两种情况为短路扩散。此外还有沿位错线的 扩散，沿层错面的扩散等。 （3） 按原子的扩散方向分： ⚫ 体扩散：在晶粒内部进行的扩散； ⚫ 表面扩散：在表面进行的扩散称为； ⚫ 晶界扩散：沿晶界进行的扩散称为。 表面扩散和晶界扩散的扩散速度比体扩散要快得多， 一般称前两种情况为短路扩散。此外还有沿位错线的 扩散，沿层错面的扩散等