显微镜技术的发展 17世纪:光学显微镜:微米级,x,y二维 20世纪40年代:电子显微镜:SEM,TEM 5nmx,y二维 90年代:AFM三维,xy:2nm Z<0. 1 nm 优点:操作容易 样品准备简单 操作环境不受限制 分辨率高显微镜技术的发展 17 世纪：光学显微镜：微米级， x, y二维 20世纪40年代：电子显微镜：SEM， TEM 5 nm, x, y二维 90年代: AFM: 三维，x,y: 2 nm Z<0.1 nm 优点: 操作容易 样品准备简单 操作环境不受限制 分辨率高