周炳海等：带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度方法 *1193· Ta=T+儿。+山， (15) (开始) Ta=T+2。+l+. (16) (4)当W,离开PM2时且专=0，A=1,满足以下 初始化T2 rTirTa 约束： 搜索当前加工腔中巾最早完成 Tij max(Tij+l,T++), (17) 加T的晶圆W记录Tg Ti=Ti+t,+l. (18) Ta=max(Th+1。+l,Th++).（19） T=7+0 =2,h=2? (5)当W,离开PM2时且5=0，A=0,满足以下 否立 是 约束： i<N? A=2? Tij=max (T+lT+), (20) 是 Tijtik Tij +lm+L (21) 输出T (6)当W,离开PM2时且53=1，A=0,满足以下 结束) 下一模块加工腔1w0 约束： 是 Ti max(Ti +l,T+t+D). (22) 释放当前机械于中品圆到可行加工控 (7)当W,离开PM2时且点=1，A=1,满足以下 约束： A=1? Tij max (+T+), (23) 是 Ta=T++1. (24) 香 搬运W到下一工序，计算 (8)当W,离开PM,时且2=0，A=0,满足以下 加工腔？ TT4Th记录TnA 约束： 是 Tij.s max (TD), (25) Wn和W执行swap操作，计算T,. T-la=Tb+l。+l. (26) TTbe Ti4并i记录Tiin4 (9)当W,离开PM3时且专2=0，A=1,满足以下 约束： 搬离W到机械于暂存 Tij.k max (Ti+lT++), (27) 图3算法流程图 Tiiv=Tij+l+l, (28) Fig.3 Flow chart of the algorithm -h=Ta+.+儿， (29) j=+l (30) 第4步判断i=N,j=2且h=2是否成立.若 (10)当W,离开PM3时且2=1，A=0,满足以下 是，则转入第9步；否则转入下一步. 约束 第5步判断机械手状态和下道工序加工腔状 Tij max (Ti+T++). (31) 态.若为A=2,Gwg=1,则回到第3步重新搜索：若 (11)当W,离开PM3时且2=1，A=1,满足以下 为A=2,专G)0=0,则释放当前机械手晶圆至可行加 约束： 工腔：若为A<2,表明存在空闲机械手，则转入下 Tijh max (Tij+l,T++l), (32) 一步 Ticij Tij +t+l (33) 第6步判断机械手臂空闲的数量.若A=1,则 在计算晶圆的离开时间时，还有几种情况上述并 转入第7步：若A=0,转入第8步 未详细说明，如果算法的下一个步骤是晶圆W,离开 第7步判断机械手上现有晶圆W:的下一道工 PM,机械手上有晶圆暂存，但是它的下一道工序并不 序的加工腔和W的加工腔是否相同.否是，则对W, 在PM上加工，此时机械手的操作序列和上述I1种情 和Wn执行swap操作：搬离Wn到机械手上，将W,释 况都不同.图3为算法流程图 放到加工腔上加工，再释放W到下一道工序的加工 算法具体步骤如下： 腔加工，记录W,和W的完成时间，转到第3步：否则 第1步基本参数输入，初始化各变量. 搬离W到下一道工序的加工腔加工，并记录W的 第2步计算系统瞬时状态下各加工腔中晶圆的 完成时间，转到第3步： 完成加工时间. 第8步搬离W到机械手暂存，转到第3步； 第3步搜索最早完成加工的晶圆W,并记录 第9步令Tu=Th+0,输出Tu: 其T 第10步结束算法.周炳海等: 带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度方法 Tb i，j + 1，h = Tl i，j，h + tm + l， ( 15) Tb i + 1，j，h = Tb i，j，h + 2tm + l + u． ( 16) ( 4) 当 Wi 离开 PM2 时且 ξ3 = 0，A = 1，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 17) Tb i + 1，j，h = Tl i，j，h + tz + l， ( 18) Tb i，j + 1，h = max( Tb i + 1，j，h + tm + l，Tl i，j，h + tm + l) ． ( 19) ( 5) 当 Wi 离开 PM2 时且 ξ3 = 0，A = 0，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 20) Tb i，j + 1，h = Tl i，j，h + tm + l． ( 21) ( 6) 当 Wi 离开 PM2 时且 ξ3 = 1，A = 0，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ． ( 22) ( 7) 当 Wi 离开 PM2 时且 ξ3 = 1，A = 1，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 23) Tb i + 1，j，h = Tl i，j，h + tz + l． ( 24) ( 8) 当 Wi 离开 PM3 时且 ξ2 = 0，A = 0，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 25) Tb i，j － 1，h = Tl i，j，h + tm + l． ( 26) ( 9) 当 Wi 离开 PM3 时且 ξ2 = 0，A = 1，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 27) Tb i + 1，j，h = Tl i，j，h + tz + l， ( 28) Tb i，j － 1，h = Tb i + 1，j，h + tm + l， ( 29) Tb i，j + 1，h = Tl i + 1，j，h + tm + l． ( 30) ( 10) 当 Wi 离开 PM3 时且 ξ2 = 1，A = 0，满足以下 约束 Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ． ( 31) ( 11) 当 Wi 离开 PM3 时且 ξ2 = 1，A = 1，满足以下 约束: Tl i，j，h = max( Tc i，j，h + l，Tnew + tm + l) ， ( 32) Tb i + 1，j，h = Tl i，j，h + tz + l． ( 33) 在计算晶圆的离开时间时，还有几种情况上述并 未详细说明，如果算法的下一个步骤是晶圆 Wi 离开 PMj ，机械手上有晶圆暂存，但是它的下一道工序并不 在 PMj 上加工，此时机械手的操作序列和上述 11 种情 况都不同． 图 3 为算法流程图． 算法具体步骤如下: 第 1 步 基本参数输入，初始化各变量． 第 2 步 计算系统瞬时状态下各加工腔中晶圆的 完成加工时间． 第 3 步 搜索最早完成加工的晶圆 Wmin，并记录 其 Tc i，j，h ． 图 3 算法流程图 Fig． 3 Flow chart of the algorithm 第 4 步 判断 i = N，j = 2 且 h = 2 是否成立． 若 是，则转入第 9 步; 否则转入下一步． 第 5 步 判断机械手状态和下道工序加工腔状 态． 若为 A = 2，ξ( j + 1) ( q) = 1，则回到第 3 步重新搜索; 若 为 A = 2，ξ( j + 1) ( q) = 0，则释放当前机械手晶圆至可行加 工腔; 若 为 A ＜ 2，表 明 存 在 空 闲 机 械 手，则 转 入 下 一步． 第 6 步 判断机械手臂空闲的数量． 若 A = 1，则 转入第 7 步; 若 A = 0，转入第 8 步． 第 7 步 判断机械手上现有晶圆 Wi 的下一道工 序的加工腔和 Wmin的加工腔是否相同． 否是，则对 Wi 和 Wmin执行 swap 操作: 搬离 Wmin到机械手上，将 Wi 释 放到加工腔上加工，再释放 Wmin到下一道工序的加工 腔加工，记录 Wi 和 Wmin的完成时间，转到第 3 步; 否则 搬离 Wmin到下一道工序的加工腔加工，并记录 Wmin的 完成时间，转到第 3 步; 第 8 步 搬离 Wmin到机械手暂存，转到第 3 步; 第 9 步 令 TLi = Tl i，j，h + θ，输出 TLi ; 第 10 步 结束算法． · 3911 ·