硅村計科学与技术 3.4杂质蒸发 晏考文赦 第三章晶体生长原理和基本技术………… 3.1相平衡条件、相平衡方程和桁图 3L.1相F衡条件 31.2相平衡方程……… 3相图… 31.1溶液和稀体的相平衡………… 3L5稀溶液和船岜熔体的平衡方程…… 3.1.6平衡分裂现象的理论分析…………, 5.L.7聚图点随分约变化……………… 32平衡界面… 32.1界能与界面强力… 3.2.2弯由界面的相平衡……… 323界面由半对平衡参量的影……………m… 3.2.4晶体的衡左观形粮界面能板图界面的分类 3.2.5界面交接…… 3.2.6衡界面的微鼠结构 32.7外廷养面上的界失配 3.3朴变塑动力,变势垒与成胺 3.3.1稳态与相变驱动月 3.3.2析变势垒 3.3.3成核 3.3.4品体生长系统中成核丰的控制 4界由反应和生长动力学… 3.4.1鼠体生长的微观过教与台阶功力学… 3..2先滑界围的陵观生长机制与!长动力学规律 3.L.3粗糙秀面的〖动学熨律 34.1相变桌动力对于界面结构约影明 34.5品体的生长形态…… 3.5生长系统中的输运象 33,1生长系统中的度扬及热趾输运 3.5.2生长系统中的溶质浓度汤和溶质分凝 53生长系统中的对潼 5.t生长系统中的混合输 36界面稳定性和组分过冷 36.1筹面稳定性的基本念 35.2毖响界面稳定性的因素 3.5.3产坐分过冷的临界条作 度譏不 37.】温度的热电偶法测量…