精密和超精密加工的加工范畴 精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶 段,通常,按加工精度划分,可将机械加工分为一般 加工、精密加工、超精密加工三个阶段。 精密加工:加工精度在0.1~1μm,加工表面粗糙 度在Ra0.02~01μm之间的加工方法称为精密加工 超精密加工:加工精度高于01μm,加工表面粗糙 度小于Rao01ψm之间的加工方法称为超精密加工( 微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等) 2021/2/212021/2/21 精密和超精密加工的加工范畴 ➢精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶 段，通常，按加工精度划分，可将机械加工分为一般 加工、精密加工、超精密加工三个阶段。 ➢精密加工：加工精度在0.1～1µm，加工表面粗糙 度在Ra0.02～0.1µm之间的加工方法称为精密加工； ➢超精密加工：加工精度高于0.1µm，加工表面粗糙 度小于Ra0.01µm之间的加工方法称为超精密加工（ 微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等 ） 。 1.1 精密和超精密加工的技术内涵