精密和超精密加工方法分类(1) 分类 加工机理 加工方法 化学分解(气体、液体、固体)刻蚀(曝光),化学抛光,软质粒子机械化学抛光 电解(液体) 电解加工,电解抛光 去除加工 蒸发(真空、气体) 电子束加工,激光加工,热射线加工 扩散(固体) 扩散去除加工 熔化(液体) 熔化去除加工 溅射(真空) 粒子束溅射去除加工,等离子体加工 化学附着 化学镀,气相镀 氧化,氮化 电化学附着 电镀、电铸 电化学结合 阳极氧化 结合加工 热附着 蒸镀(真空蒸镀),晶体生长,分子東外延 扩散结合 烧结,掺杂,渗碳 熔化结合 浸镀,熔化镀 物理附着 贱射沉淀,离子沉淀(离子镀) 子溅射注入加工 热表面流动 热流动加工(高频电流、热射流、电子束、激光) 粘滞性流动 液体、气体流动加工(压铸、挤压、喷射、浇铸) 变形加工 摩擦流动 微粒子流动加工2021/2/21 1.1 精密和超精密加工的技术内涵 精密和超精密加工方法分类（1） 分 类 加工机理 加工方法 去除加工 化学分解（气体、液体、固体） 电解（液体） 蒸发（真空、气体） 扩散（固体） 熔化（液体） 溅射（真空） 刻蚀（曝光），化学抛光，软质粒子机械化学抛光 电解加工，电解抛光 电子束加工，激光加工，热射线加工 扩散去除加工 熔化去除加工 粒子束溅射去除加工，等离子体加工 结合加工 化学附着 化学结合 电化学附着 电化学结合 热附着 扩散结合 熔化结合 物理附着 注入 化学镀，气相镀 氧化，氮化 电镀、电铸 阳极氧化 蒸镀（真空蒸镀），晶体生长，分子束外延 烧结，掺杂，渗碳 浸镀，熔化镀 溅射沉淀，离子沉淀（离子镀） 离子溅射注入加工 变形加工 热表面流动 粘滞性流动 摩擦流动 热流动加工（高频电流、热射流、电子束、激光） 液体、气体流动加工（压铸、挤压、喷射、浇铸） 微粒子流动加工