5.2晶体管防护ESD特性 5.3MOS管防护ESD特性 (二)教学基本要求 1、掌握：器件ESD防护工作机理 2、理解：器件寄生效应的作用 3、了解：ESD防护电热模型 第六章静电防护专用集成电路设计和实例 (一)教学基本内容 6.1射频集成电路ESD防护设计 6.2功率集成电路ESD防护设计 (二)教学基本要求 1、掌握：集成电路ESD协同设计方法 2、理解：集成电路ESD自防护设计原理 3、了解：集成电路ESD外防护设计原理 第七章TCAD工具及其仿真流程 (一)教学基本内容 7.1工艺和器件TCAD仿真软件简介 7.2工艺和器件仿真的基本流程 7.3ESD防护器件设计仿真示例 (二)教学基本要求 1、学握：TCAD软件的使用方法和仿真流程 2、理解：ESD仿真模型选择的条件 3、了解：ESD防护总体评估 四、课程学时分配 课内 课外 教学内容 讲授 实验 上机 学时 学时 小计 第一章专用集成电路概述 第二章ESD与集成电路可靠性 2 第三章ESD测试标准和方法 2 2 第四章ESD防护原理 第五章半导体器件和ESD 5.2 晶体管防护 ESD 特性 5.3 MOS 管防护 ESD 特性 （二）教学基本要求 1、掌握：器件 ESD 防护工作机理 2、理解：器件寄生效应的作用 3、了解：ESD 防护电热模型 第六章 静电防护专用集成电路设计和实例 （一）教学基本内容 6.1 射频集成电路 ESD 防护设计 6.2 功率集成电路 ESD 防护设计 （二）教学基本要求 1、掌握：集成电路 ESD 协同设计方法 2、理解：集成电路 ESD 自防护设计原理 3、了解：集成电路 ESD 外防护设计原理 第七章 TCAD 工具及其仿真流程 （一）教学基本内容 7.1 工艺和器件 TCAD 仿真软件简介 7.2 工艺和器件仿真的基本流程 7.3 ESD 防护器件设计仿真示例 （二）教学基本要求 1、掌握：TCAD 软件的使用方法和仿真流程 2、理解：ESD 仿真模型选择的条件 3、了解：ESD 防护总体评估 四、课程学时分配 教学内容 讲授 实验 上机 课内 学时 小计 课外 学时 第一章 专用集成电路概述 2 2 第二章 ESD 与集成电路可靠性 2 2 第三章 ESD 测试标准和方法 2 2 第四章 ESD 防护原理 2 2 第五章 半导体器件和 ESD 4 4