失效分析研究的内容A■ 什么 What Failed? 器件失效(氧化层 击穿,管脚蚀断等) 怎么 How did it Failed? 特定条件下,性能 变化的特定规律 为什么 Why did it Failed? 判定退化机制及其 对器件性能的影响失效分析研究的内容 0 50 100 150 200 250 300 0.000 0.001 0.002 0.003 0.004 0.005 0.006 0.007 0.008 Current /A cm 2 time /s 什么 怎么 为什么 What Failed? How did it Failed? Why did it Failed? 器件失效（氧化层 击穿，管脚蚀断等） 特定条件下，性能 变化的特定规律 判定退化机制及其 对器件性能的影响