砷化镓气相外延 砷化镓气相外延又可分为氯化物法、砷烷一镓源 法、金属有机化合物( MOCVD法和改进了的 MocD法一光激励外延法等。 > MOCVD工艺主要通过金属有机化合物在热分解 瞬间实现与有关元素的化合、结晶并形成薄膜。 >改进的 MOCVD法一光激励外延法,利用水银灯 进行照射,使金属有机化合物发生光激励反应 已被用来制作异质结及超晶格等新型元件。砷化镓气相外延 ➢ 砷化镓气相外延又可分为氯化物法、砷烷—镓源 法、金属有机化合物(MOCVD)法和改进了的 MOCVD法－光激励外延法等。 ➢ MOCVD工艺主要通过金属有机化合物在热分解 瞬间实现与有关元素的化合、结晶并形成薄膜。 ➢ 改进的MOCVD法－光激励外延法，利用水银灯 进行照射，使金属有机化合物发生光激励反应。 已被用来制作异质结及超晶格等新型元件