VoL22 No.5 黄天斌等：大面积金刚石膜的均匀沉积 ◆469◆ 位置的喇曼谱，图8是大面积金刚石膜边缘位 长的阶段取得大范围的均匀性.大面积等离子 置的喇曼谱.从2幅喇曼谱来看，大面积金刚石 体所沉积的金刚石膜在质量上也是均匀的. 膜的金刚石相的分布是均匀的.因此，可以说大 参考文献 面积金刚石膜的质量是均匀的，从喇曼谱来看， 无明显的石墨峰，说明所生长的金刚石膜质量 1 Grant Lu,Kevin J Gray,E Frederick Borchelt,et al.Free 是较好的. Standing White Diamond for Thermal and Optical Appli- cation.Diamond and Related Materials,1993,2:1064 1.8 2 Daniel C Harris.Status For Infrared Applications.In:A 1.6 Feldman Proc 3rd Int Conf on Appl of Diamond Films and Related Materials.Boulder:NIST,1995,539 12 3 Develyn MP,Edward B Stokes,Peter J Codella,et al.Pro- 1.0 perties of Diamond for Optical Application.In:A Feld- manProc 3rd Int Conf on Appl of Diamond Films and Re- 0.8 lated Materials.Boulder:NIST,1995.547 0.6 4 CJH Wort,JR Brandon,BSC Dom,et al.Propeties of CVD 0.4 Diamond Domes.In:A Feldman Proc 3rd Int Conf on 1.11.21.31.41.51.61.7 Appl of Diamond Films and Related Materials.Boulder: 成膜后波数/×10cm NIST,1995.569 图8成膜后边缘位重的喇受谱 5 Yukio Saito,Kouji Sato,Kenichi Gomi,et al.Diamond Fig.8 Raman spectrum of edge of the thick film sample Synthesis from CO-H,Mixed Gas Plasma.Journal of Ma- terials Science,1990,25(2):1246 3结论 6 K Aoyama,H Vyama,O Matsomoto.Diamond Deposition with Ar-CO,-CH,-H2 Plasma Jet.Diamond and Related 本文所采用的等离子体炬结构上是合理的， Materials,1993,2(2):337 大面积磁旋转等离子体所产生的电弧是均匀的， 7钟国钫.1O0kW级DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜 适于生长大面积金刚石膜，运用大面积磁旋转 沉积系统的研制：[学位论文].北京：北京科技大学 等离子体喷射沉积金刚石膜，可以在形核和生 材料科学与工程学院，1997 Uniformity of Large Area Diamond Films HUANG Tianbin,LIU Jingming,TANG Weizhong,ZHONG Guofang,JIANG Zheng,LU Fanxiu Material Science and Engineering SchooL,UST Beijing,Beijing100083,China ABSTRACT The uniformity of large area diamond films in deposition process and quality of diamond films is researched.The results show that the DC arc used for deposition of diamond films is uniform.Diamond films are uniform in the process of nucleation and the growth.The quality of large area diamond films is uniform. KEY WORDS large area;diamond films;uniformity一 黄天斌 等 大面积金刚 石膜 的均 匀沉积 ， 位 置 的喇 曼谱 ， 图 是 大面 积 金 刚石膜边缘位 置 的喇 曼谱 从 幅喇曼谱来看 ， 大面 积金 刚石 膜 的金 刚石相 的分布是均匀 的 因此 ， 可 以说大 面积金 刚石膜 的质量是均匀 的 从 喇曼谱来看 ， 无 明 显 的石 墨 峰 ， 说 明所 生长 的金 刚 石 膜质量 是较好 的 长 的阶 段取得 大范 围 的均 匀 性 大面积 等离子 体所沉积 的金 刚石 膜在质量上 也 是 均 匀 的 参 考 文 献 ，‘ ，︸八托 侧慧胃 成膜后 波 数 护 一 ， 图 成膜后边缘位 的喇曼谱 啥 · 几 灯】 结论 本文所采用 的等离子体炬结构上是合理 的 ， 大面积磁旋转等离子体所产生 的电弧是均匀 的 ， 适于 生长大 面 积 金 刚石膜 运用 大面积 磁 旋 转 等 离 子 体 喷射 沉积 金 刚 石膜 ， 可 以在 形核 和 生 仆 认 ‘ 珑 切 闭 歇 助 ， ， 出云 仓 即 助 ， ， ， 刁 ， ， 价。 讲币 找玲 取 ， ， 珑 ， ， 乃旧伴 们。 ， 、 仙 ， ， ， 加 一玩 了 ， ， 竹一 珍 改 ， ， 钟 国访 级 金 刚石 膜 沉积 系 统 的研制 学位论文 北京 北京科技大学 材料科学与 工 程 学 院 ， 加 ， 脚才够 别刃 肠七 ， ， 了 咬刃 叹多 比 刀 访 ， ， 田名 八 山 耐几