·304· 工程科学学报，第39卷，第2期 a b 向位移AVG 节点位移 节点位移 节点位移m 739.421 AN N d e (0w 6= 节点位移m 节点位移um 节点位移um 228 上解 AN 节点解 (g) h)“ 节点位移um 节点位移hum 点解 41555 位铭 0377 节点位移m 节点位移m g65TgnT1w1级m 02刃7%446a"46品派 图4第1~10阶振型云图.(a)第一阶：(b)第二阶：(c)第三阶：(d)第四阶：(e)第五阶：(f)第六阶：(g)第七阶：(h)第八阶： (i)第九阶：(j)第十阶 Fig.4 Displacement nephograms of Order I to Order 10:(a)Order 1;(b)Order 2;(c)Order 3;(d)Order 4;(e)Order 5;(f)Order 6;(g) Order 7;(h)Order 8;(i)Order 9;(j)Order 10 表2考虑薄膜厚度的新型聚合物石英压电传感器模型尺寸 3.1薄膜缺陷尺寸对新型传感器振动频率的影响 Table 2 Model size of a new type polymer quartz piezoelectric sensor 分析 with thin film thickness 利用ANSYS模态分析提取得到的在不同缺陷尺 R/mm H/μm r/mm h/pm 寸([0.2,3.5]mm)条件下1~10阶振型所对应的频 8 120 0.5 [1,15] 率值如表4所示. 不同缺陷尺寸([0.2,3.5]mm)条件下1~10阶 针对图4展示的第1~10阶振型云图，对新型聚 振型所对应的振动频率值变化趋势图如图5所示 合物石英压电传感器的前10阶阵型分析结果如表3 根据新型聚合物石英压电传感器在不同中心缺陷 所示，展示了随着阶数增加，传感器石英晶体的不同 半径值的情况下的1~10阶固有频率值可知，随着缺 振型. 陷半径r的增大，其振动频率表现出不同规律工程科学学报,第 39 卷,第 2 期 图 4 第 1 ~ 10 阶振型云图. (a) 第一阶; (b) 第二阶; (c) 第三阶; (d) 第四阶; (e) 第五阶; ( f) 第六阶; ( g) 第七阶; ( h) 第八阶; (i) 第九阶; (j) 第十阶 Fig. 4 Displacement nephograms of Order 1 to Order 10: (a) Order 1; (b) Order 2; (c) Order 3; (d) Order 4; (e) Order 5; (f) Order 6; (g) Order 7; (h) Order 8; (i) Order 9; (j) Order 10 表 2 考虑薄膜厚度的新型聚合物石英压电传感器模型尺寸 Table 2 Model size of a new type polymer quartz piezoelectric sensor with thin film thickness R/ mm H/ 滋m r/ mm h / 滋m 8 120 0郾 5 [1,15] 针对图 4 展示的第 1 ~ 10 阶振型云图,对新型聚 合物石英压电传感器的前 10 阶阵型分析结果如表 3 所示,展示了随着阶数增加,传感器石英晶体的不同 振型. 3郾 1 薄膜缺陷尺寸对新型传感器振动频率的影响 分析 利用 ANSYS 模态分析提取得到的在不同缺陷尺 寸([0郾 2,3郾 5] mm)条件下 1 ~ 10 阶振型所对应的频 率值如表 4 所示. 不同缺陷尺寸([0郾 2,3郾 5] mm)条件下 1 ~ 10 阶 振型所对应的振动频率值变化趋势图如图 5 所示. 根据新型聚合物石英压电传感器在不同中心缺陷 半径值的情况下的 1 ~ 10 阶固有频率值可知,随着缺 陷半径 r 的增大,其振动频率表现出不同规律. ·304·