电子探针的原理 ■用细聚焦电子束入射样品表面,激发出 样品中各元素的特征(标识)X射线: 定性分析分析特征Ⅹ射线的波长(或特征能 量),得到元素的种类; 定量分析一分析特征X射线的强度,得到样 品中相应元素的含量 2021222 22021/2/22 HNU-ZLP 2 电子探针的原理 ◼ 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出 样品中各元素的特征（标识） X射线： – 定性分析分析特征X射线的波长（或特征能 量），得到元素的种类； – 定量分析－分析特征X射线的强度，得到样 品中相应元素的含量