电子探针仪的结构 ■电子探针仪主要由电子光学系统、Ⅹ射线 谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机 与自动控制系统、真空系统及一些必要 的附件组成 结构示意图。 ■电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪 波长分散谱仪(WDS),简称波谱仪,用 来测定特征X射线波长; 2021222 32021/2/22 HNU-ZLP 3 电子探针仪的结构 ◼ 电子探针仪主要由电子光学系统、X射线 谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机 与自动控制系统、真空系统及一些必要 的附件组成。 ◼ 结构示意图。 ◼ 电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 ◼ 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪： – 波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用 来测定特征X射线波长；