电猎83谱图特征的KL饿欧谱线 (a 01s 0和C两条谱线的存在 表明金属铝的表面已被部 A 2s O KLL 俄耿峰 分氧化并受有机物的污染 9008007006005004003002b0100 是宽能量范围扫描的全谱 结合能eV Al2 A 2p 全馬 低结合能端的放大谱 等高子体澈元 氧化物 等离子体元 价带 右图是表面被氧化且 80160140120100806040 结合能(eV 有部分碳污染的金属 铝的典型的图谱8.3.1 谱图特征 右图是表面被氧化且 有部分碳污染的金属 铝的典型的图谱 是宽能量范围扫描的全谱 低结合能端的放大谱 O 和 C 两条谱线的存在 表明金属铝的表面已被部 分氧化并受有机物的污染 O的KLL俄歇谱线