@电艏谱 58.3X射线光电子能谱(XPS 由于各种原子轨道中电子的结合能是一定的,因此 XPS可用来测定固体表面的化学成分,一般又称为化 学分析光电子能谱法( Electron Spectroscopy for Chemical Analysis,简称ESCA)。 与紫外光源相比,射线的线宽在0.7eV以上,因此 不能分辨出分子、离子的振动能级。 在实验时样品表面受辐照损伤小,能检测周期表中 除H和He以外所有的元素,并具有很高的绝对灵 敏度。因此是目前表面分析中使用最广的谱仪之§8.3 X射线光电子能谱（XPS） 由于各种原子轨道中电子的结合能是一定的，因此 XPS 可用来测定固体表面的化学成分,一般又称为化 学分析光电子能谱法（ Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称 ESCA）。 与紫外光源相比，射线的线宽在0.7eV以上，因此 不能分辨出分子、离子的振动能级。 在实验时样品表面受辐照损伤小，能检测周期表中 除 H 和 He 以外所有的元素，并具有很高的绝对灵 敏度。因此是目前表面分析中使用最广的谱仪之一