X射线谱仪一波长色散谱仪 2.X射线谱仪一波长色散谱 被检测的X射线方向 仪 入射电子束 20 波长色散谱仪有两种形式： 回转式和直进式。目前使 用的最多的是直进式性线 谱仪。 图6-3直进式线性谱仪原 +01 理图 它的特点是在检测X射线 的过程中，始终保持X射 线的出射角w(X射线出射 方向与样品表面的夹角) 不变，这样特别有利于元 图6-3直进式线性谱仪原理图 素的定量分析。X射线谱仪－波长色散谱仪 2．X射线谱仪－波长色散谱 仪 波长色散谱仪有两种形式： 回转式和直进式。目前使 用的最多的是直进式性线 谱仪。 图6-3 直进式线性谱仪原 理图 它的特点是在检测 X射线 的过程中，始终保持 X射 线的出射角ψ（X射线出射 方向与样品表面的夹角） 不变，这样特别有利于元 素的定量分析。 图6-3 直进式线性谱仪原理图