上游充通大兽 扫描电镜的工作方式 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY )探测器工作原理 。 收集从试样发射出来的二次电子或 人射束 背散射电子信号。 。 探测器（见图）是由 收集栅4、 光电倍增管5、 试样 光导管6、 涂铝闪烁体7等组成。扫描电镜的工作方式 探测器工作原理 • 收集从试样发射出来的二次电子或 背散射电子信号。 • 探测器(见图)是由 收集栅4、 光电倍增管5、 光导管6、 涂铝闪烁体7等组成