膜光学—蒸发工艺简介 真空泵抽气原理及工作范围 泵名 原理 工作范围Torr 102110210-410610810-1010-12 机械泵 分子泵机械里压缩排除气体 罗茨泵 扩散泵靠蒸汽射流携带排除 气体 溅射离子泵靠溅射或升华形成吸 钛升华泵 吸附排除气体 吸附泵利用低温表面对气 冷凝泵体进行物理吸附排气 中国科学院长春光学精密机橄与物理硏究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 薄 膜 光 学 ——蒸发工艺简介 泵名 原理 工作范围 Torr 102 1 10-2 10-4 10-6 10-8 10-10 10-12 机械泵 分子泵 罗茨泵 机械里压缩排除气体 扩散泵 靠蒸汽射流携带排除 气体 溅射离子泵 钛升华泵 靠溅射或升华形成吸 气、吸附排除气体 吸附泵 冷凝泵 利用低温表面对 气 体进行物理吸附排气 真空泵抽气原理及工作范围