电容一频率转换器输出频率： 1 f-2RCmL+2R6/R可2RCC21+(2R6R5可 式中Rf、C1、C2、R5、R6为常数。 该电路静态谐振频率一般以38KHz~40KHz为好。 差分电容传感器调理电路 目前流行的MEMS器件加速度计，其传感器原理一般基于差动电容。加速 度计主要由质量弹性元件、位移测量系统及信号调理电路构成，可以根据测量 DC得到物体的运动速度和加速度。 无加速度 有加速度 横梁 中间极板 CS1 CS2 CS1=CS2 CS1 图5MEMS电容式振动加速度传感器 如图5所示，中间极板（即横梁的伸出部分）与二个固定的外极板组成差动电 容CS1和CS2。没有加速度时，CS1=CS2;产生加速度时，横梁的移动改变 了中间极板和固定的外极板之间的相对位置，引起电容变化，CS1≠CS2。通过电容—频率转换器输出频率： ； 式中 Rf 、C1、C2、R5、R6 为常数。 该电路静态谐振频率一般以 38KHz~40KHz 为好。 差分电容传感器调理电路 目前流行的 MEMS 器件加速度计，其传感器原理一般基于差动电容。加速 度计主要由质量弹性元件、位移测量系统及信号调理电路构成，可以根据测量 DC 得到物体的运动速度和加速度。 图 5 MEMS 电容式振动加速度传感器 如图 5 所示，中间极板(即横梁的伸出部分)与二个固定的外极板组成差动电 容 CS1 和 CS2。没有加速度时，CS1=CS2；产生加速度时，横梁的移动改变 了中间极板和固定的外极板之间的相对位置，引起电容变化，CS1≠CS2。通过