2.器件结构及气敏测试系统 好 986 2.3气体传感器的主要特性参数 (1)器件电阻R和R S=Rs-Ro R (2)相对灵敏度$ (3)响应时间及恢复时间2 (4)重复性及稳定性 (5)选择性 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.3 气体传感器的主要特性参数 (1)器件电阻R0和RS (2)相对灵敏度S (3)响应时间T1及恢复时间T2 (4)重复性及稳定性 (5)选择性 S 0 0 R R S R − = 2.器件结构及气敏测试系统