5.2SEM的像衬度原理及其应用 5.2.1表面形貌衬度的原理 表面形貌衬度是利用对样 品表面形貌变化敏感的物王 背散射电子 0.5 信号作为调制信号得到的 0. 入射电子束 种像衬度。 0.3 样品表面 Fe 二次电子和背散射电子对 二次电子 样品微区刻面相对于入射： 子束的位向十分敏感，因山 40前80100 20 它们都能用于显示样品表画 形貌特征。5.2 SEM的像衬度原理及其应用 5.2.1表面形貌衬度的原理 表面形貌衬度是利用对样 品表面形貌变化敏感的物理 信号作为调制信号得到的一 种像衬度。 二次电子和背散射电子对 样品微区刻面相对于入射电 子束的位向十分敏感，因此 它们都能用于显示样品表面 形貌特征