(5)化学气相沉积的特点是什么？ 第七章原子层沉积 1.教学目标 (1)学会分所原子层沉积技术制各材料的燕本反应过程。 (2)学会利用原子层沉积技术合成材料。 2.教学重难点 (1)学握原子层沉积制备材料的基本反应过程。 (2)深入理解原子层沉积技术的基本原理。 (3)对比原子层沉积和化学气相沉积技术 3教学内容 第一节为什么要发展原子层沉积技术？ (1)几种材料表面沉积技术简介。 (2)原子层沉积技术介绍、 第二节原子层沉积技术的基木原理】 (1)AMD工艺步骤. (2)AD设备。 (3)ALD反应黄驱体要求 (4)AD代块点， 第三节原子层沉积技术的特殊优势（不可昔代性）。 第四节原子层沉积技术在储能材料和器件方面的应用。 4教学方法 ()讲授法：相关概念及理论框架。 (2)研讨法：针对课上的案侧。分小组讨论原子层沉积技术制各材料的影响因素。并对产物进行分析。 五教学评价 回答下列向题： 《1)什么是原子层沉积技术？ (2)原子层沉积为什么可以实现原子级别沉积精度？ (3)D反应前事体有愿些要求？ (4)AMD的优缺点有哪些？ 四、学时分配 表2：各章节的其体内容和学时分配表 章节 章节内容 学时分配 第一章 绪论 1 第二章 溶胶-凝胶法 5 第三存 水热和溶剂热法 6 第四章 微波合成 5 （5）化学气相沉积的特点是什么？ 第七章 原子层沉积 1.教学目标 （1）学会分析原子层沉积技术制备材料的基本反应过程。 （2）学会利用原子层沉积技术合成材料。 2.教学重难点 （1）掌握原子层沉积制备材料的基本反应过程。 （2）深入理解原子层沉积技术的基本原理。 （3）对比原子层沉积和化学气相沉积技术。 3.教学内容 第一节 为什么要发展原子层沉积技术？ （1）几种材料表面沉积技术简介。 （2）原子层沉积技术介绍。 第二节 原子层沉积技术的基本原理。 （1）ALD工艺步骤。 （2）ALD设备。 （3）ALD反应前驱体要求。 （4）ALD优缺点。 第三节 原子层沉积技术的特殊优势(不可替代性)。 第四节 原子层沉积技术在储能材料和器件方面的应用。 4.教学方法 （1）讲授法：相关概念及理论框架。 （2）研讨法：针对课堂上的案例，分小组讨论原子层沉积技术制备材料的影响因素，并对产物进行分析。 5.教学评价 回答下列问题： （1）什么是原子层沉积技术？ （2）原子层沉积为什么可以实现原子级别沉积精度？ （3）ALD 反应前驱体有哪些要求？ （4）ALD的优缺点有哪些？ 四、学时分配 表2：各章节的具体内容和学时分配表 章节 章节内容 学时分配 第一章 绪论  1 第二章 溶胶-凝胶法  5 第三章 水热和溶剂热法  6 第四章 微波合成  5