3.1薄膜的附着性能 。化学键力 簿膜与基体之间形成化学键后的结合力。 化学吸附的吸附能在0.5~10eV。 化学键力在数值上比范德华力大得多。在薄膜与基体之 间并不是普遍地存在化学吸附，要使薄膜在基体上有牢固的 附着性必须在它们之间产生化学键。 附着现象实质是建立在原子间电子 的交互作用基础上，因此是电子性质的。附着现象实质是建立在原子间电子 的交互作用基础上，因此是电子性质的。 化学键力在数值上比范德华力大得多。在薄膜与基体之 间并不是普遍地存在化学吸附，要使薄膜在基体上有牢固的 附着性必须在它们之间产生化学键。 化学吸附的吸附能在0.5~10eV。 3.1 薄膜的附着性能 簿膜与基体之间形成化学键后的结合力。 化学键力