3.1薄膜的附着性能 。影响附着力的工艺因素 基片状态 ①基片材料性质 ◆基片表面能 表面能大：附着性能好，表面能小：附着性能差 用表面能量小的薄膜材料覆盖在表面能量大的基片上，浸润 性好。 ◆基片表面成键性质 要使薄膜附着牢固，需要选择基片材料，以使基片能与薄 膜材料或其氧化物、氮化物、硫化物等形成合适的化学键。 Example:Al/NaCl差，Al/SiO2强；Au/SiO2差，Au/Ni强。影响附着力的工艺因素 3.1 薄膜的附着性能 基片状态 ① 基片材料性质  基片表面能 表面能大：附着性能好，表面能小：附着性能差 用表面能量小的薄膜材料覆盖在表面能量大的基片上，浸润 性好。  基片表面成键性质 要使薄膜附着牢固，需要选择基片材料，以使基片能与薄 膜材料或其氧化物、氮化物、硫化物等形成合适的化学键。 Example: Al/NaCl差，Al/SiO2强；Au/SiO2差，Au/Ni强