3.1薄膜的附着性能 ②基片表面状态 基片表面的污染层使其表面的化学键 6 玻璃基片 达到饱和→膜的附着性能下降。 软钢基片 解 (CaVN0860)个所 决 对基片进行清洁和活化处理 办 加热和离子轰击 6 轰击时间(min) 图3-6附着力与离子轰击时间的关系附着力与离子轰击时间的关系 3.1 薄膜的附着性能 ② 基片表面状态 基片表面的污染层使其表面的化学键 达到饱和 膜的附着性能下降。 对基片进行清洁和活化处理 加热和离子轰击 图3-6 附着力与离子轰击时间的关系 解 决 办 法