图1是球形键合工艺过程。将键合引线垂直插入毛细管劈刀的工 具中，引线在电火花作用下受热熔成液态，由于表面张力的作用而形 成球状，在视觉系统和精密控制下，劈刀下降使球接触晶片的键合区， 对球加压，使球和焊盘金属形成治金结合完成焊接过程，然后劈刀提 起，沿着预定的轨道移动，称作弧形走线，到达第二个键合点（焊盘） 时，利用压力和超声能量形成月牙式焊点，劈刀垂直运动截断金属丝 的尾部。这样完成两次焊接和一个弧线循环。 (a)对准IC焊 (6)球形键合 (c)移至第二点 (d)月牙形键 (e)截断 ()电弧熔球 图1球形键合工艺步骤 (2)楔形键合工艺 图2是楔形键合工艺过程。将金属丝穿入楔形劈刀背面的一个小 孔，丝与晶片键合区平面呈30-60°角。当楔形劈刀下降到焊盘键合区 时，劈刀将金属丝压在焊区表面，采用超声或热声焊实现第一点的键图 1 是球形键合工艺过程。将键合引线垂直插入毛细管劈刀的工 具中，引线在电火花作用下受热熔成液态，由于表面张力的作用而形 成球状，在视觉系统和精密控制下，劈刀下降使球接触晶片的键合区， 对球加压，使球和焊盘金属形成冶金结合完成焊接过程，然后劈刀提 起，沿着预定的轨道移动，称作弧形走线，到达第二个键合点（焊盘） 时，利用压力和超声能量形成月牙式焊点，劈刀垂直运动截断金属丝 的尾部。这样完成两次焊接和一个弧线循环。 (a) 对准 IC 焊 盘 (b) 球形键合 (c) 移至第二点 (d) 月牙形键 合 (e) 截断 (f) 电弧熔球 图 1 球形键合工艺步骤 （2）楔形键合工艺 图 2 是楔形键合工艺过程。将金属丝穿入楔形劈刀背面的一个小 孔，丝与晶片键合区平面呈 30-60角。当楔形劈刀下降到焊盘键合区 时，劈刀将金属丝压在焊区表面，采用超声或热声焊实现第一点的键