维普瓷讯http://www.cqvip.com 第16卷第2期 北京科技大学学报 Vol.16 No.2 1994年4月 Journal of University of Science and Technology Beijing Ar.1994 T616y 聚乙烯促进低压气相金刚石成核的机理+ ⑧ 13S-38 王建军 吕反修 杨保雄 北京科技大学材料科学与丁程系、北京10003 摘要研究了在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)条件下、聚乙烯对金刚石在单晶硅衬底 A 上形核的影响·发现预先涂覆在硅村底的聚乙烯显著地促进了金刚石的形核：提出了聚乙烯促进 金刚石形核的机理和具有SP]杂化结构的含碳活化粒子过饱和度概念及其促进金刚石形核的视 点。 关键词金刚石-装，形度~晶核·囊乙婚，全古溪，猴 中围分类号TQ164 Effect of Polyethylene on Low Pressure Diamond Growth from the Vapour Phase+ Wang Jianjun Lu Fanxiu Yang Baoxiong Department of Materials Scienxe and Engineering.(STB.Beyjing 100083,PRC ABSTRACT Effect of polyethylene on low pressure diamond growth from the vapour phase was studied.It was found that diamond nucleation on polyethylene coated,un-polished single crystal silicon substrate was greatly enhanced.The mechanism of the observed enhancement and a new concept of the super-saturation of carbonaceous radicales with the Sp3 hybridstructure which enhance the nucleation of diamond film have been proposed. KEY WORDS diamond-films,formation-crystal nucleons,polyethylene 传统的CVD金刚石薄膜工艺一般都需要对衬底进行金刚石微粉的研磨处理【)，这极大 地限制了金刚石膜在光学领域的应用、因此如何在不损伤衬底的情况下获得高的金刚石形核密 度，已成为人们十分关注的研究课题，最近研究者们发现C、C富勒烯可以极大地促进 低压气相生长金刚石膜的形核、并归因于它们结构上的特点、 本文研究了在微波等离子体辅助化学气相沉积条件下工业聚乙烯对金刚石形核的影响， 发现聚乙烯与C:C一样可以极大地促进金刚石的形核， 1实验方法 1993-06-24收稿 第一作者男27岁预士 +国家863高技术发展计划重点资助顶目第 16卷 第 2期 北 京 科 技 太 学 学 报 1994年4月 JournalofUniversityofScienceandTedmologyB 啦 V01．16N0．2 A ． 1994 聚 乙烯 促 进 低 压 气相 金 刚石 成 核 的机 理 + @ 1{S一1 嚣 ／ r王— — —建— ～ 军 吕- — —反— — —修一 杨保雄 北京 科技大 学 材料科 学与 lT程 系，北 京 10U083 Ib 摘 要 研 究 了在微 波等 离 子体化 学气相 沉 积 (MP(：vD)条 件下 聚 乙烯 对金 刚 石 在 单 晶 硅 衬 底 上形 核的影 响 ．发现 预先 涂覆 在硅 衬底 的聚 乙烯显 著地 促进 了盒 刚石 的形核 ：提 出 了聚乙烯 促进 金 刚石 形核 的机理 和 具有 P 杂化 结构的 含碳 活化 粒子 过 饱和 度 概 念 及其 促 进 金 剐 石 形 核 的 观 点 ． 关键 词 金刚 石一膜 ．形成一晶核 中国分类号 TQ164 ， 螗 ，嵌豫 EfectofPolyethyleneOn Low Pressure Diamond Growth from the Vapour Phase Wang dianjun Lu Fanxiu Yah9Baoxt,ong Depanm t。fMatetiak,+Scie~eand E岫 g．USTB， ing100083，PRC ABSTRACT Efectofpolyethylene on low pressurediamond growth from the vapo ur phase wasstudied．Itwasfound thatdiamond nucleation O／2polyethylenecoated．un—polished single ~ystalsilicon substmte as greatly erdaanced．Theraechanism oftheob9朗埘 enhano朗曲髓 and a new conceptofthesuper—saturation ofcarbonaceom mdieales with the SP ’hybridstructure which e／lhano~ thenudeation ofdiamond ftlm have been pro posed． KEY W ORDS diaillond 一61雠 ，formation一~-ystalnucle6ns，polyethylen e 传统的 CVD 金刚石薄膜 工艺一般都需要对衬底进行金 刚石微 粉 的研 磨处 理 [I】，这 极 大 地 限制了金刚石 膜在光学领域 的应用 ．因此如何在 不损 伤衬底 的情况下获得 高的金刚石形 核密 度 ，已成为人们 十分 关注 的研究课题 ，最近研究 者们发现 “ 富勒烯可 以极大地 促 进 低压气相生长金 刚石膜 的形核 ，并 归因于它们结 构上的特点 本文研究了在微波等离子体辅助 化学 气相 沉积条件下工业聚 乙烯 对金 刚 石形 核 的影 响， 发 现 聚 己烯 与 C C 一 样 可 以极 大地 促 进 金 刚 石 的形 核 ． 1 实验 方 法 1993—06—24 收稿 第 一作 者 男 27岁 磺士 + 国家 863高拄 木发展 计划重 点 资助项 目 维普资讯 http://www.cqvip.com