(3)通过细槽的宽度，选择不同的速率区间 7△0三 △p (4)沉积在检测器上相应的金属层厚度必定正比相应速率 下的分子数 四.麦克斯韦速率分布定律 1.麦克斯韦速率分布定律 理想气体在平衡态下分子的速率分布函数 fU)=4π(，)2e产127（麦克斯韦速率分布函数） 2元kT 式中为分子质量，T为气体热力学温度，k为玻耳兹曼常量 k=1.38×10-23J/K (3) 通过细槽的宽度，选择不同的速率区间       =  =  v v 2 L (4) 沉积在检测器上相应的金属层厚度必定正比相应速率 下的分子数 四. 麦克斯韦速率分布定律 理想气体在平衡态下分子的速率分布函数 kT e kT f 3/ 2 2 / 2 2 ) 2π ( ) 4 ( v v v    − = ( 麦克斯韦速率分布函数) 式中μ为分子质量，T 为气体热力学温度，k 为玻耳兹曼常量 k = 1.38×10-23 J / K 1. 麦克斯韦速率分布定律