·146· 北京科技大学学报 1998年第2期 度更高些，这可能是由于硬质合金比较硬，40μm金刚石粉产生的冲击力更大，造成有利形核 位置更多的缘故.（见图2~4）. 3结论 采用80℃体积比(HC:HNO,:H,O)为1：l:1溶液对WC-6%Co刀片表面15min酸浸去 C0的同时，使表面粗糙化，并形成许多细小沟槽及孔洞，对沉积的金刚石薄膜产生"钉扎"作用， 增强了薄膜涂层附着力.选用40μm大粒度金刚石粉及1.5μm金刚石加20μmTaC混合粉研 磨液对刀片超声研磨预处理，促进了形核，得到较好质量的连续金刚石薄膜涂层组织，也有利 于提高薄膜附着力.相比之下40μm金刚石粉处理效果更好些. 参考文献 1李成明.硬质合金工具村底上沉积金刚石薄膜的探索研究：[学位论文].北京：北京科技大学，1995 2 Fan W D,Chen X.Diamond-Ceramic Composite Tool Coatings.J Mater Res,1994,9(11):2 850 3 Wang Sigen,Tang Weizhong,Lu Fanxiu.Influence of Surface Ultrasonic Scratching Pretreatment on Diamond Nucleation.J of Univ of Sci and Tech Beijing,1997,4(1):36 Adhesion of Diamond Coating on WC-6%Co for Cutting Tools by Hot Filament CVD Wang Sigen Tang Weizhong Lu Fanxiu Tong Yumei Nie Wei Material Science and Engineering,UST Beijing,Beijing 100083,China ABSTRACT CVD diamond coating on WC-6%Co for cutting tools has been investigated. The substrates were etched by HCl:HNO,:HO(volume fraction)1:1:1 solution at 80C for 15 min to remove the cobalt from the surface.In order to enhance diamond nucleation, ultrasonic scratching pretreatment was applied by using diamond powder with 40 um parti- cle and the mixture of diamond powder with 1.5 um particle and TaC powder with 20 um particle.The diamond deposition was performed by the hot filament CVD method.Adhesion was checked using Rockwell hardness machine with a loading capacity of 1 500 N,the experimental results show that the adhesion of CVD diamond coating to WC-6%Co substrate by ultrasonic scratched with diamond powder of 40 um particle is better than that of the mixture of diamond powder with 1.5 um particle and TaC powder with 20 um particle. KEY WORDS CVD;diamond film;cemented carbide;adhesion· 北 京 科 技 大 学 学 报 年 第 期 度更 高些 ，这 可 能是 由于 硬 质合金 比较硬 ， 协 金 刚石 粉产生 的冲击力更 大 ， 造成有利形 核 位置更多 的缘故 见 图 一 结论 采 用 ℃ 体积 比 卜 乓 为 卜 溶液 对 。 刀 片表 面 巧 而 酸浸 去 的 同时 ，使表 面粗糙化 ，并 形成许多 细小 沟槽及孔 洞 ， 对沉积 的金 刚石薄膜产生 ” 钉扎 ” 作用 ， 增 强 了 薄膜涂层 附着 力 选用 协 大粒度金 刚石粉及 “ 金 刚石加 “ 混合粉研 磨 液 对刀 片超 声研磨 预处理 ，促 进 了形 核 ，得 到 较好质量 的连续 金 刚石 薄膜涂层 组 织 ，也 有 利 于提 高薄膜 附着力 相 比之下 “ 金 刚石粉处理效果更好些 参 考 文 献 李成 明 硬质合金工具衬底上沉积金 刚石薄膜的探索研究 学位论文 北京 北京科技大学 ， ， 加 众 一 班 伪 甩 ， ， ， ， 出 汀 口 习 仗 沈 以 火 ， ， 一 肠 泌 山 万 从 ， ， ， 为 一 乓 ℃ 而 汀 ， ’ 卜 币 而 卜 山 卜 训币 ， 一 ’ 巧 卜 而 卜 卜