▪概述 ▪电子衍射原理 ▪电子显微镜中的电子衍射 ▪单晶电子衍射花样标定 ▪复杂电子衍射花样

主要优点:放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深 大等 目前广泛应用于材料、生物等研究领域 扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子 显微镜均不同,它不是以透镜放大成象,而是以类似 电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发产生的某些物理信号来调制成象,近年扫描 电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功 能仪器

一、电子探针的原理 二、电子探针仪的结构 三、波谱仪(WDS) 四、能谱仪(EDS) 五、电子探针仪分析方法

❖ 第一节 电子光学基础 ❖ 第二节 电子与固体物质的相互作用 ❖第三节 透射电镜（TEM） ❖第四节 扫描电镜 ❖第五节 电子探针(Electron Micro￾probe Analysis, EMPA or EPMA) 第六节 扫描隧道显微镜 (STM) 第七节 原子力显微镜 (AFM) 第八节 电子显微镜分析在材料研究中的应用 ❖ 一、形态、精度的分析 ❖ 二、元素的存在状态分析 ❖ 三、玻璃的非晶态结构分析 ❖ 四、材料断面的研究 ❖ 五、晶界（微观研究） ❖ 六、微区结构分析 ❖ 七、高分子材料的研究

◼ 1 电镜的结构与成象 ◼ 2 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法、指数标定及应用） ◼ 3 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）相位象 ◼ 4 扫描电子显微术 ◼ 5 X射线显微分析和俄歇能谱分析

《材料研究方法》课程教学课件（讲稿）第五章-透射电子显微技术（电子光泶基础、透射电子显微镜的光学系统）

中南大学：《电子显微分析》_第四章 透射电子显微镜成象原理（苏玉长）

中南大学：《电子显微分析》_第三章 透射电子显微镜成象原理与图象解释（苏玉长）

一、透射电镜的结构原理 二、射透电镜的主要性能

电镜中的电子衍射,其衍射几何与X射线完 全相同,都遵循布拉格方程所规定的衍射 条件和几何关系. 衍射方向可以由厄瓦尔 德球(反射球)作图求出.因此,许多问题可 用与X射线衍射相类似的方法处理