一、洁净室的设计原则 1.洁净室设计必须执行国家、地区、部门和行业有关现行的标准、规范和规定。 2.设计应根据生产工艺的要求,因地制宜,区别对待

介绍制剂生产中的灭菌方法 无菌操作法 衡量灭菌可靠性的参数 洁净室的设计与空气净化技术 无菌检查法

一、新风在洁净室空调系统中的作用令人满意的因此笔者认为要确保吸必 新风和新风量问题即使是在一般性空调要的、稳定的新风量,便必须采用专门的新风 系统中也是一个不容忽视的问题,在净化空风机供送新风才行。这时,风机即起到某种 调工程中,这一问题将显得更加重要。具体计量泵的作用

洁净室的工作原理及其应用 洁净室控制微粒污染的主要途径: 1.控制污染源,减少污染发生量; 2.迅速有效地排除室内已经发生的污染; 3有效地阻止室外的污染侵入。 (或有效地防止室内污染逸至室外)

药品生产企业洁净室的头等重要任务 时要控制空内浮游微粒及细菌对生产 的污染,使室内的生产环境的空气洁 净度符合工艺要求。 空气净化措施主要有三项:第一是空 气过滤:第二是组织气流排污:第三 是提高室内空气静压

《空气洁净技术》课程PPT教学课件：洁净室的工作原理及其应用

1防止灰尘产生; 2阻止灰尘进入; 3把已有灰尘一次有效地排出去

在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件 性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍 洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的 清洗工艺等 5.2污染类型 微粒金属离子化学物质细菌 ·微粒器件对污染物的敏感度取决于特征图形的 尺寸和晶体表面沉积层的厚度。由于特征图形尺 寸越来越小,膜层厚度越来越薄,所允许存在的 微粒尺寸也必须控制在更小的尺度上

5.1概述 在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的清洗工艺等

所谓环境,是人或某种对象物所处的空间。就环境而言,可以是室外环境,也可以是室 内环境,或是某一局部空间环境。后两者也可称为微环境。空气洁净技术就是研究微环境的 污染控制技术,就是建立洁净环境的技术