一、电容传感器的工作原理 由两平行极板组成一个电容器，若忽视其边缘效应，电容量表示为：

1. 为获得较大输出的霍尔电动势，可采用多片霍尔元件同时工作的办法 试问其控制回路和输出交流或直流电动势回路应如何接线？ 2. 试绘出用热敏电阻法在霍尔传感器输出回路进行温度补偿的线路并分析之

1、试推导出图 4.1 的静态输出表达式和相应的 K 值，画出输入/输出曲线。 2、一应变电阻 R=120Ω，K=2，用作 800μm/m 的传感器元件，求ΔR， ΔR/R。若用电桥测量电路，U=4V，求相应的输出 U0。 如应变片所受应力减少，使相应的输出 U0 降至 1mV，求此时的应变值

1、定义： 电感传感器是将被测量转换为线圈的自感或互感的变化来测量的装置。 2、特点： 结构简单、可靠，输出功率高，分辨力高（0.01μm),灵敏(几百mV/1mm)线性较好(0.05～0.1%），稳定，抗干扰能力强

3.1 概述 3.1.0 检测变送的重要性 3.1.1 测量误差 3.1.2 仪表性能指标 3.2 温度检测 3.2.1 温度检测方法 3.2.2 热电偶 3.2.3 热电阻 3.2.4 热电偶、热电阻的选用 3.3 流量检测 3.3.0 基本概念 3.3.1 流量检测的主要方法 3.3.2 速度式流量计（差压式流量传感器） 3.3.3 容积式流量计 3.3.4 质量流量计 3.3.5 流量仪表的选用 3.4 压力检测 3.4.1 压力单位及压力检测方法 3.4.2 常用压力检测仪表 3.4.3 压力表的选用 3.5 物位检测 3.8 变送器 3.8.0 概述 3.8.1 变送器的量程、零点迁移 3.8.2 温度变送器 3.8.3 差压变送器 3.8.4 智能变送器 3.9 现代传感器技术的发展

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光的波长与频率的关系由光速确定，真空中的光速 c=2.99793×1010cm/s，通常c≈3×1010cm/s。光的波长 λ和频率ν的关系为 ν的单位为Hz，λ的单位为cm

组成:位置测量装置是由检测元件(传感器)和信号处理装置 组成的。 作用:实时测量执行部件的位移和速度信号,并变换成位置控 制单元所要求的信号形式,将运动部件现实位置反馈到位置控制单 元,以实施闭环控制。它是闭环、半闭环进给伺服系统的重要组成部分

课程介绍的主要内容 1、微机电系统概论 2、微机电系统功能材料 3、微机械加工制造技术 4、微机械执行器 5、微机械传感器 6、微机械弱信号检测与处理 7、微机电系统设计技术 8、微封装、微构件及微尺寸效应