在基底材料上用物理或化学的方法制成敏感材料薄层（几百nm~几µm）。薄膜热传感器、应变片、气敏传感器

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第一节 压电传感器的工作原理 第二节 压电传感器的测量转换电路

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3.4.1 高频反射式涡流传感器 3.4.2 低频透射式涡流传感器 3.4.3 涡流式传感器的应用

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