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SiC半导体不同晶面氧化机理及动力学的研究进展
文档格式:PDF 文档大小:1.29MB 文档页数:10
SiC作为一种综合性能优异宽禁带半导体,在金属氧化物半导体场效应晶体管中具有广泛的应用。然而SiC热氧化生成SiO2的过程具有各向异性,导致不同晶面上的氧化速率差异较大,这会对半导体器件的性能产生不利影响,因而研究SiC各个晶面上SiO2的生长规律尤其重要。建立有效合理的动力学模型是认识上述规律的有效手段。本文从反应机理和拟合准确度两方面对目前具有代表性的改进的Deal-Grove模型(Song模型和Massoud经验关系式)以及硅碳排放模型(Si?C emission model)进行系统研究和比较。在此基础上,分析已有模型的优缺点,提出本课题组建立的真实物理动力学模型应用的可能性,为SiC不同晶面氧化动力学的准确描述提供进一步优化和修正思路
华东理工大学:《物理化学》课程教学资源(习题解答)第8章 各类反应的动力学
文档格式:PDF 文档大小:122.42KB 文档页数:8
1.溶液反应 Co(NH3)F2+H2O—→Co(NH3)3(H2O)”+F 是酸催化反应,其速率方程为
《Delphi7程序设计》第9章 多层分布式应用系统
文档格式:PPT 文档大小:232.5KB 文档页数:6
一、多层结构应用体系 二、Delphi中多层结构的实现技术 三、DataSnap应用实例
北京邮电大学:《多媒体技术原理及应用》第11章 典型的多媒体应用系统
文档格式:PPT 文档大小:131.5KB 文档页数:47
第11章典型的多媒体应用系统 一、计算机支持的协同工作系统 二、数字视频服务系统
《资产评估》第五章 房地产评估(5.2)房地产估价的成本法
文档格式:DOC 文档大小:48KB 文档页数:6
1基本思路与计算公式 成本法又称成本逼近法、承包商法、原价法、重置成本法。用成本法估价求取的价格称为积算价格。 依据等量资金应获取等量收益的投资原理土地取得费和土地开发费应产生相当的利润,根据国家对土地的所有权在经济上得到体现的要求,再加上土地所有权应得收益,就得到土地价格
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.2弹塑性应力 2.2.3屈服压力和爆破压力 2.2.4提高屈服承载能力的措施
文档格式:PDF 文档大小:277.86KB 文档页数:14
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.2弹塑性应力 2.2.3屈服压力和爆破压力 2.2.4提高屈服承载能力的措施
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.1 弹性应力
文档格式:PDF 文档大小:5.96MB 文档页数:33
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.1 弹性应力
《资产评估》第三章 资产评估的基本方法(3.4)评估方法的选择
文档格式:DOC 文档大小:27KB 文档页数:2
1.各种方法的关系 1.1各种方法的联系 都要求反应资产的市场价格,都要求遵循客观性,所以结果应该趋于一致。 如果用不同的方法结果相差很大,可能的原因有:应用前提不具备;分析过程有误;资料有误;师的职业判断有误
《精细有机合成技术》PPT教学课件:第十章 氨解(概述、反应基本原理、方法)
文档格式:PPT 文档大小:1.23MB 文档页数:80
第一节 概述 第二节 氨解反应基本原理 第三节 氨解方法 第四节 应用实例
武汉大学遥感信息工程学院:《数字图像处理》课程教学资源(PPT课件讲稿)第三章 图像变换
文档格式:PPS 文档大小:166KB 文档页数:18
讲解内容: 1. 图像变换的目的、要求和应用 2. 傅立叶级数、 频谱分析概念及其意义 3.一维、二维连续、离散傅立叶变换定义、性质及其应用 目的: 1. 熟悉二维傅立叶变换定义、性质及其应用; 2. 掌握一维傅立叶变换算法及频谱分析方法
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