在基底材料上用物理或化学的方法制成敏感材料薄层（几百nm~几µm）。薄膜热传感器、应变片、气敏传感器

4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术

光纤传感优点： 灵敏度较高；几何形状具有多方面的适应性， 可以制成任意形状的光纤传感器；可以制造传 感各种不同物理信息（声、磁、温度、旋转等） 的器件；可以用于高压、电气噪声、高温、腐 蚀、或其它的恶劣环境；而且具有与光纤遥测 技术的内在相容性

将温敏晶体管及外围电路集成在同一个芯片上，构成集测量、放大、电源供电于一体的高性能测温传感器

热敏电阻 湿敏传感器 气敏传感器 磁敏传感器 趣味小制作：湿度检测计

一、偏振式光纤温度传感器 发展 最早、最快、最多的传感器之一。 分相干型和非相干型（本例）。图4-13

第一节 电阻应变式传感器 第二节 热电阻式传感器 第三节 其他电阻式传感器

自感式传感器 差动变压器 电涡流式传感器

第一节 角度——数字传感器 第二节 超声波传感器 第三节 红外、激光传感器

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