共价结合是靠两个原子各贡献一个电子,形成所谓的共价键。 元素周期表中第 IV 族元素 C( Z = 6 )、Si、Ge、Sn (灰锡)等晶体,属金刚石结构,为共价晶体。 共价键的现代理论以氢分子的量子理论为基础。 两个氢原子 A 和 B,在自由状态下时,各有一个电子,其归一化波函数: A B ϕ and ϕ 每个氢原子中的电子满足薛定谔方程:
对于中规模、大规模和某些VLSI的IC,前面介绍的基本光刻工艺完全适用,然而 ,对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代,某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括:光学设备的物理局限;光刻胶分辨率的限制;晶园表面的反射现象和高低不平现象等