本章研究的主要内容及目的： ➢ 了解棘轮机构的组成、工作原理、类型、特点和应 用，掌握棘轮机构棘轮转角的调节方法。 ➢ 了解槽轮机构的组成、工作原理、类型、特点和应 用，掌握槽轮机构的运动特性。 ➢ 了解凸轮间歇运动机构和不完全齿轮机构的组成、 工作原理。 本章重点难点 重点： 棘轮机构、槽轮机构的组成、工作原理和应用。 难点： 棘轮机构棘轮转角的调节方法；槽轮机构的运动特性

第一章半导体材料导电型号、电阻率、少数载流子寿命的测量 第二章化学腐蚀一光学方法检测晶体缺陷和晶向 第三章霍尔系数、迁移率和杂质补偿度的测量 第四章外延片的物理测试 第五章红外吸收光谱在半导体测试技术中的应用 第六章扫描电子显微镜及其在半导体测试技术中的应用 第七章透射电子显微镜晶体缺陷分析 第八章Ⅹ射线在半导体测试技术中的应用 第九章结电容和CV测试技术 第十章半导体中痕量杂质分析

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