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一、概述 高水平的工艺良品率是生产性能可靠的芯 片并获得收益的关键所在。本章将简单介绍影 响良品率的主要工艺及材料要素,并对良品率 测量点做出阐述。 维持及提高良品率对半导体工业至关重要 ,因为半导体制造工艺的复杂性,以及生产一 个完整封装器件所需要经历的庞大工艺制程, 是导致这种对良品率超乎寻常关注的基本原因 。这两方面的原因使得通常只有20%至80%的芯 片能够完成生产线全过程,成为成品出货

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达朗伯原理（D/Alembert’sprinciple）是非自由质点系动力学的基本原理，通过引入惯性力（Inertialforce,Reversedeffectiveforce），建立虚平衡状态，可把动力学问题在形式上转化为静力学平衡问题而求解。这种求解动力学问题的普遍方法，称为动静法（Methodofkineto-statics）。动静法在工程技术中有广泛地应用

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